超精密壓電納米定位臺是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。三英設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
超精密壓電納米定位臺應(yīng)用領(lǐng)域
◆顯微鏡;
◆波束控制;
◆自定義閉環(huán)系統(tǒng);
特點(diǎn):
從1軸到6軸運(yùn)動(dòng)
業(yè)界的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)和并聯(lián)測量技術(shù)
保持記錄的高精度與重復(fù)精度
可選電容傳感器zui高可達(dá)0.02nm閉環(huán)分辨率
定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料
技術(shù)參數(shù):
型號 | NS-XY100Z20-01 | |
運(yùn)動(dòng)軸 | X/Y/Z | |
傳感器類型 | 電容式 | |
閉環(huán)行程 | 100/100/20μm | |
閉環(huán)分辨率 | 0.5/0.5/0.1nm | |
線性度 | 0.02/0.02/0.08% | |
無載諧振頻率 | 350/350/1600Hz | |
驅(qū)動(dòng)電壓 | -30~+150V | |
電纜長度 | 2m | |
連接器類型 | D-sub15 | |
位移臺材料 | 鋁合金 | |
zui大負(fù)載 | 1kg | |
體積 | 100 x 100 x 35mm | |
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運(yùn)動(dòng)控制中國制造的品牌“的目標(biāo),力求*國內(nèi)*,打破國外對中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運(yùn)動(dòng)和測控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。




























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