集成式壓電驅動器無摩擦,柔性鉸鏈導向系統(tǒng)使得這一系列產品可實現(xiàn)納米級的分辨率,同時可選備應變計或電容位置傳感器,可實現(xiàn)非常準確的重復性.

集成式壓電驅動器特點：

 不同轉子長度導致不同行程
分辨率達0.03納米
不工作時自鎖，無熱量產生
無磁性和真空兼容工作原理
三種技術：NEXLINE、NEXACT和PICMAWalk
從OEM電機到多軸定位系統(tǒng)的集成度 

技術參數(shù)：

1600Vp-p單通道（差分輸出）

• 輸出電壓1600Vp-p (±800V)

• 輸出電流40mA

• 功率32W

• 帶寬（-3dB）DC~150KHz

• 壓擺率200V/μs

• 低失真

• 增益數(shù)控0~240（0.1step）可調

• 輸入阻抗50Ω/5KΩ可調

• 一鍵保存設置（Save鍵

目前，多層式驅動器制作時，通常是采用傳統(tǒng)流延成膜多層共燒制備工藝，包括以下步驟

(1)流延成型，其是在原料中加入有機溶劑后制作漿料，并將漿料流延得到膜層；

(2)烘干，即對流延得到的膜層進行烘干；

(3)疊加，將烘干后的膜層鍍上銀電極，并進行疊加；

(4)共燒，即將疊加后得到的多層膜高溫煅燒，得到多層結構的壓電驅動器?，F(xiàn)有采用傳統(tǒng)流延成膜多層共燒制備工藝中，需要使用有機溶劑，而有機溶劑通常有毒；共燒過程中，膜層上鍍的銀電極容易擴散，導致制作后的壓電驅動器性能下降、退化；同時，現(xiàn)有制備工藝流程復雜，安全性較差，制作成本較高。此外，現(xiàn)有技術也有通過采用環(huán)氧樹脂黏貼方式得到壓電驅動器。

    綜上，現(xiàn)有壓電驅動器的多層共燒制備工藝中，多層共燒過程中易導致膜層上銀電極擴散，壓電陶瓷層之間易產生蠕變，使得壓電驅動器的能量轉換效率低，位移損失較大，壓電驅動器性能較差；此外，現(xiàn)有壓電驅動器制備工藝復雜，質量不易控制。而現(xiàn)有采用環(huán)氧樹脂方式制備壓電驅動器時，制備得到的壓電驅動器無法適用于高溫環(huán)境工作。