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等離子體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

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  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)杭州市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
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等離子體監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情
等離子體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過(guò)測(cè)量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計(jì)算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度;由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對(duì)比可計(jì)算得出電子溫度。測(cè)量輸出結(jié)果,可反饋控制等離子體的發(fā)生,從而獲得優(yōu)質(zhì)的反應(yīng)流程和效果。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括:高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過(guò)程監(jiān)控裝置及測(cè)量分析軟件。

PlasCalc應(yīng)用于測(cè)量等離子體鍍膜沉積情況,監(jiān)測(cè)等離子濁刻,檢查表面清潔處理,分析等離子反應(yīng)腔控制情況,監(jiān)測(cè)異常污染排放現(xiàn)象,磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點(diǎn)測(cè)量、開(kāi)發(fā)等離子過(guò)程的監(jiān)測(cè)和控制優(yōu)化。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)基本性能:
◆測(cè)量范圍:測(cè)量發(fā)射光譜獲得等離子體組分/密度/電子溫度等參數(shù)
◆光譜范圍:200-1100nm
◆探測(cè)器:2048像素CCD
◆光譜分辨率:1nm
◆A/D轉(zhuǎn)換:14位
◆通訊方式:USB1.1
◆供電方式:直流12V;1.25A
◆應(yīng)用場(chǎng)合:等離子體鍍膜沉積/等離子體監(jiān)測(cè)/安全監(jiān)控/反映過(guò)程優(yōu)化/終點(diǎn)測(cè)量

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件
◆實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)等離子過(guò)程的發(fā)射光譜
◆監(jiān)測(cè)和控制的雙屏幕技術(shù)
◆8數(shù)字量輸入/輸出;4模擬量輸出
◆終點(diǎn)、啟動(dòng)、停止及限位的信息音提示

備選附件
◆SpecLine Software:峰值查找和譜線辨別
◆UV & UV-VIS & NIR 傳輸光纖
◆COL-UV-6 & COL-UV-30準(zhǔn)值透鏡
◆VFT真空接管
◆PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法蘭接頭

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