UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測(cè)的“干式”標(biāo)準(zhǔn)

INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測(cè)的*標(biāo)準(zhǔn)。

通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測(cè)部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了*佳的性價(jià)比。它提供**的 10-12 mbar·l/s 檢測(cè)極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。緊湊的設(shè)計(jì)提供了高度的機(jī)動(dòng)性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域。可選的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測(cè)試。

所有特性都使您能夠縮短泄漏測(cè)試工作的時(shí)間，同時(shí)確?？梢越?jīng)濟(jì)實(shí)惠地檢測(cè)出所有泄漏。

穩(wěn)定性和敏感度的新疆界，檢漏低達(dá)10-12毫巴·升/秒

英福康UL1000FAB移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。
憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測(cè)量范圍中提供極快的漏率響應(yīng)。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強(qiáng)的*佳真空結(jié)構(gòu)，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供漏率低達(dá)< 5×10-12毫巴·升/秒。磚利軟件I-CAL（智能漏率計(jì)算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時(shí)較長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)閁L1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時(shí)超過8小時(shí)的無(wú)線作業(yè)。該單元配置一個(gè)3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點(diǎn)。連接2個(gè)或多個(gè)檢漏儀的RC1000C有線型和無(wú)線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。
使用額外的TC1000測(cè)試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡(jiǎn)單、快速、**的測(cè)試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù)MilStd883，方法1014）。

特征概覽

15級(jí)的寬測(cè)量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
移動(dòng)式全金屬外殼為優(yōu)良可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測(cè)量范圍中泄漏的*快響應(yīng)時(shí)間
抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正提供快速、可靠的測(cè)試結(jié)果
含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡(jiǎn)單、輕松控制和交互作用
自保護(hù)功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保隨時(shí)可用性
通過電子郵件進(jìn)行軟件升級(jí)
含兩個(gè)燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔確保了**的測(cè)試結(jié)果
內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可使用TC1000測(cè)試盒執(zhí)行密封部件的自動(dòng)測(cè)試
可選RC1000遙控器

應(yīng)用

半導(dǎo)體加工工具上的維護(hù)工作
工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)和安裝
部件檢漏

需高泵抽速、高靈敏度和清潔測(cè)試條件的應(yīng)用

規(guī)格

類型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）*低可檢漏率	mbar?L/s	< 5 ? 10-12
氦氣（吸**式）*低可檢漏率	mbar?L/s	< 5·10-8
GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	15
FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	2
ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	0.4
抽真空期間的抽氣能力	m3/h	25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
可檢測(cè)質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場(chǎng)		180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔	mbar?L/s	～ 10-7
測(cè)試端口	DN 25 KF	1
可調(diào)觸發(fā)器		2
接口		RS 232
圖形記錄器輸出	V	2 x10
輸入/輸出		PLC compatible
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10 to +40
重量	kg lb.	110
尺寸（長(zhǎng)x寬x高）	mm	1050 x 472 x 987
電源電壓 (EU)	V (ac)	230 (± 10 %) 50 Hz
電源電壓 (US)	V (ac)	100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗 (typ.)	VA	1100
功耗 (typ.)	VA	1100

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號(hào)	明細(xì)
14005	SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長(zhǎng)
14022	RC1000 extension cable, 8 m
14090	LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線
551-015	遙控器 RC1000WL，無(wú)線，包括無(wú)線發(fā)射機(jī)
551-020	RC1000WL 用無(wú)線發(fā)射機(jī)