線紋尺是一種具有等分刻度的多值量具，它是以任意兩條刻線間的垂直距離確定其長度的一種高精度基準(zhǔn)器和標(biāo)準(zhǔn)器。通過它可以把精密儀器及各種精密零件的尺寸與“米”定義基準(zhǔn)器所復(fù)現(xiàn)的長度起來，從而達(dá)到量值統(tǒng)一的目的。

一、線紋尺檢定臺(tái)介紹:

誤差來源主要有:(1)激光波長的檢定誤差及穩(wěn)頻誤差；(2)測量折射率的誤差；(3)測量線紋尺溫度的誤差；(4)線紋尺的材料線膨脹系數(shù)誤差。

在激光干涉法檢定線紋尺時(shí)，實(shí)際上測得的是被測長度和所測波長的比值，由于激光給定的波長都是真空中的波長。因此，在檢定時(shí)需要將真空中的波長換算為實(shí)際工作狀態(tài)下的波長，得到在測量狀態(tài)下的空氣折射率?？諝庹凵渎逝c氣壓、溫度、濕度以及大氣成分有關(guān)，并且不同波長的激光在空氣中的折射率也不一樣，經(jīng)過計(jì)算得到:

二、測量長度為1m時(shí):

溫度Δt=0.1℃，ΔLt≈92nm

氣壓Δp=1Pa，ΔLp≈3nm

濕度Δf=1Pa，ΔLf≈0.4nm

通過以上分析，可以得出以下結(jié)論，無論是采用干涉儀測量還是二等標(biāo)準(zhǔn)金屬線紋尺比較測量，環(huán)境溫度穩(wěn)定和準(zhǔn)確是保證測量結(jié)果可靠zui重要的因素，而溫度對其測量結(jié)果影響的大小，又取決于線紋尺材料的膨脹系數(shù)。

此外，由于材質(zhì)以及本身結(jié)構(gòu)的原因，線紋尺在送檢及運(yùn)輸過程中極易變形，從而產(chǎn)生誤差，雖然其為二次誤差，對測量結(jié)果影響不大，但由于三等金屬線紋尺的尺底平直度在測量過程中引起的刻線影像模糊，從而在主觀上產(chǎn)生的測量誤差也是在檢定工作中值得注意的問題。

三、線紋尺檢定臺(tái)的比較檢定

誤差的主要來源有:(1)標(biāo)準(zhǔn)尺的檢定誤差；(2)顯微鏡的對準(zhǔn)誤差及調(diào)整誤差；(3)線紋尺的安裝誤差；(4)標(biāo)準(zhǔn)尺與被檢尺溫度的測量誤差；(5)線紋尺材料線膨脹系數(shù)的測量誤差等。

在上述誤差主要來源中，兩尺溫度的測量誤差是各種誤差因素中zui為顯著的，尤其是在線紋尺的溫度膨脹系數(shù)較大的情況下，若溫度測量稍不準(zhǔn)確，就會(huì)帶來較大的測量誤差。

類似鋼卷尺檢定臺(tái)檢測鋼卷尺線紋也是采用線紋比較法。在采用比較法檢定線紋尺時(shí)，如標(biāo)準(zhǔn)尺的溫度為20.4℃，線膨脹系數(shù)為10.8×10-6℃-1，被檢尺的溫度為20.4℃，線膨脹系數(shù)為16.6×10-6℃-1，則相對于20℃時(shí)標(biāo)準(zhǔn)尺會(huì)增加4.32μm，被檢尺會(huì)增加9.96μm，可以通過計(jì)算消除這部分誤差，但如果使用的貼附式溫度計(jì)的不確定度為0.1℃，則會(huì)產(chǎn)生5.8μm的測量誤差。

在其他因素中，比如導(dǎo)軌直線度，如果在工作臺(tái)移動(dòng)過程中在垂直內(nèi)產(chǎn)生2″的傾斜，在水平方向產(chǎn)生5″傾斜，兩讀數(shù)顯微鏡的視軸距離為1100mm，則由此產(chǎn)生的測量誤差僅為0.4μm?？梢娤鄬τ跍囟缺容^，其對測量結(jié)果影響很小。因瓦水準(zhǔn)標(biāo)尺每米間隔真長的測定, 是確保水準(zhǔn)測量精度的重要環(huán)節(jié)。多年來一直是按規(guī)范規(guī)定使用鋅白銅合金制的線紋米尺進(jìn)行測定。實(shí)踐證明采用這種測定方法存在不少缺陷, 如線、紋米尺的膨脹系數(shù)為1 6 . 6 、1 8 , 5微米/度·米, 而因瓦水準(zhǔn)尺的膨脹系數(shù)為1 *2 微米/ 度。米, 兩者的精度很不相配, 顯然其檢定精度是滿足不了高精度水準(zhǔn)測量的需要。再者, 用線紋米尺檢定因瓦水準(zhǔn)尺時(shí), 是將線紋米尺平放在水準(zhǔn)標(biāo)尺的因瓦帶上, 使因瓦帶失去常態(tài)受壓彎曲變形, 產(chǎn)生系統(tǒng)誤差, 這些都直接影響一等水準(zhǔn)測量成果的精度。