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公司介紹主營產(chǎn)品

上海卯林機(jī)電設(shè)備有限公司秉承專業(yè)、專注的態(tài)度，從事氧氣分析儀、臭氧分析儀，臭氧催化劑、儀器儀表銷售、系統(tǒng)集成與服務(wù)等10年，先后成為美國Teledyne API、英國Pi、日本TORAY中國區(qū)總代理。產(chǎn)品廣泛用于市政水處理、半導(dǎo)體、太陽能、食品飲料、泳池、工業(yè)水處理等領(lǐng)域。堅(jiān)持探索、不斷創(chuàng)新是企業(yè)的發(fā)展的動(dòng)力。上海卯林多年來積極對外展開合作和交流，先后同清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等高校展開合作，成功開發(fā)出尾破臭氧催化劑和高效臭氧氧化催化劑以滿足市場對高品質(zhì)臭氧催化劑的需求。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

Mini ODS 是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生...

小型臭氧傳輸系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動(dòng)裝置。Mini ODS能夠拓展支持額外的獨(dú)立流程臭氧發(fā)生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護(hù)簡單，不需求消耗品或預(yù)防性維護(hù)。該系統(tǒng)也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監(jiān)分析儀交互。為了更加安全，該系統(tǒng)也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測儀和臭氧破壞器子系統(tǒng)聯(lián)鎖。

規(guī)格

系統(tǒng) ：Mini ODS

完整并可立即使用的臭氧輸送系統(tǒng)

臭氧濃度：超過320 g/Nm3 或 21.0% w/w

臭氧流量：1 slpm (可選其他流量)

臭氧出口壓力：15 到 40 PSIG (通常設(shè)置為 30 PSIG)

環(huán)境溫度：5-35°C

氣源：氧氣級(jí)別6或更高

氮?dú)?：級(jí)別5或更高(只用于摻雜)

冷卻用水：溫度 17 到 20°C

流量：根據(jù)配置

設(shè)定值控制器：自動(dòng)伺服回路控制

用戶可編程的設(shè)定值

- 發(fā)生器功率

- 氣體流量

- O3濃度

(最多同時(shí)且獨(dú)立的控制兩臺(tái)O3發(fā)生器)

分析儀：紫外臭氧濃度分析儀 (紫外溶解臭氧濃度分析儀可選)

氣體流量控制器：包含氧氣和氮?dú)獾馁|(zhì)量流量計(jì)

調(diào)節(jié)器：包含背壓調(diào)節(jié)器

顯示：2 行 x 40 字母，VFD

模擬 I/O ：1x 模擬輸出, 0-5VDC

1x 模擬輸入, 0-5VDC

數(shù)字 I/O ：RS-232C, 雙向

2x 數(shù)字輸入

2x 數(shù)字輸出

電源：208 到 240 VAC, 1θ 或 3θ

尺寸：19” x 13.7” x 18” (寬 x 高 x 長) (48 cm x 35 cm x 46 cm)

認(rèn)證：CE

保修：1 年

特征

設(shè)計(jì)緊湊

生成濃度超過21% w/w的臭氧

19” 機(jī)架固定或放置在桌面

價(jià)格低/無耗材

完整整合的產(chǎn)品包括:

- 高純度臭氧發(fā)生器

- 高濃度臭氧分析儀

- 閉環(huán)伺服控制器

- 氧氣質(zhì)量流量計(jì)

- 氮?dú)赓|(zhì)量流量計(jì)

- 背壓調(diào)節(jié)器

- 電-氣分流閥

應(yīng)用

化學(xué)氣相沉積 (CVD)

原子層沉積 (ALD)

氧化物生長

表面處理

顆粒清潔

光刻膠去除

灰化

系統(tǒng)選項(xiàng)

臭氧破壞器

溶解臭氧分析儀

臭氧安全分析儀

可拓展控制額外的臭氧分析儀

關(guān)鍵詞：輸送系統(tǒng) 臭氧發(fā)生器調(diào)節(jié)器發(fā)生器探測儀

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