公司介紹:
NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學(xué)配件的研發(fā)與銷售經(jīng)驗(yàn)。在范圍內(nèi),通過(guò)與眾多來(lái)自同步輻射科學(xué),阿秒科學(xué),高強(qiáng)度物理學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究者開(kāi)展緊密合作,積累了大量*的設(shè)計(jì)與制造技術(shù),其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評(píng)價(jià)。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率,高聚光效率等特點(diǎn),適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外,分辨率測(cè)試卡被當(dāng)作業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)。不只是學(xué)術(shù)研究,在X射線的檢查裝置開(kāi)發(fā)現(xiàn)場(chǎng)也被廣泛使用。XUV鏡片,XUV濾波片不僅對(duì)阿秒科學(xué)有著幫助,對(duì)下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領(lǐng)域給予客戶在研發(fā)上的幫助。
產(chǎn)品介紹:
世界上只有恩梯梯技術(shù)公司生產(chǎn)基于SiC膜的 FZP
優(yōu)點(diǎn):
恩梯梯技術(shù)公司的由SiC膜和Ta吸收體圖案組成的菲涅耳波帶板(FZP)具有出色的高耐X射線輻射性、高分辨率和高對(duì)比度。
只有恩梯梯技術(shù)公司提供基于SiC膜的菲涅耳波帶板(FZP)具有出色的高耐X射線輻射性。恩梯梯技術(shù)公司的FZP由干法蝕刻的Ta組成。吸收體圖案清晰,S/N比高,成像缺陷少, 能理想地應(yīng)用于X射線顯微鏡、X射線微光束輻射和X射線成像。
另外,還提供用于軟X射線和極紫外(EUV、XUV)領(lǐng)域的Ta圖案/SiN膜型FZP和Au板圖案/SiN 膜型FZP。并提供臺(tái)階式(基諾全息照片)FZP。
特點(diǎn):
能用于X射線顯微鏡、EUV顯微鏡、X射線微光束輻射和同步加速器輻射光束監(jiān)視等各種X射線應(yīng)用。
出色的高耐X射線輻射性
最小區(qū)域?qū)挾冗_(dá)25納米
可定制FZP
菲涅耳波帶板(FZP)的X射線吸收體圖案
可按要求定制設(shè)計(jì)FZP,滿足用戶的特殊X射線能量、光學(xué)設(shè)置和聚焦、圖像性能。如果本公司的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品商品目錄中沒(méi)有所需的產(chǎn)品,請(qǐng)聯(lián)系我們。

(φ2.5mm)(光學(xué)顯微鏡)

(SEM)
菲涅耳波帶板(FZP)的結(jié)構(gòu)


臺(tái)階(基諾全息照片)式
| 最小區(qū)域?qū)挾?/span> | 25納米 |
| 直徑 | 5毫米 |
| 膜材料 | SiN, SiC |
| 膜厚度 | 0.2至2微米 |
| 吸收體材料 | Ta |
| 吸收體厚度 | 0.1至2微米 |
| Si基板形狀 | 10平方毫米 |
| Si基板厚度 | 1毫米 |
※我們可與用戶商討不同需求。
帶規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品列表
| 型號(hào) | 寬高 比 | 膜 材料 | 膜 厚度 (微米) | ΔRn (納米) | D (微米) | N | Tm (納米) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| FZP-S38/84 | 4.2 | SiN | 0.15 | 38 | 84 | 550 | 160 |
| FZP-S50/80 | 5 | SiN | 0.2 | 50 | 80 | 400 | 250 |
| FZP-S40/155 | 5 | SiN | 2 | 40 | 155 | 970 | 200 |
| FZP-S50/330 | 8 | SiN | 1 | 50 | 330 | 1,650 | 400 |
| FZP-S86/416 | 8 | SiN | 2 | 86 | 416 | 1,200 | 700 |
| FZP-100/155 | 8 | SiN | 2 | 100 | 155 | 388 | 800 |
| FZP-173/208 | 5.8 | SiN | 2 | 173 | 208 | 300 | 1,000 |
| FZP-200/206 | 8 | SiN | 2 | 200 | 206 | 255 | 1,600 |
| FZP-C234/2500 | 0.6 | SiC | 0.2 | 234 | 2,500 | 2,670 | 150 |
※規(guī)格可能會(huì)變更,恕不預(yù)先通告。
Rn:最外區(qū)域?qū)挾?br hiragino="" kaku="" gothic="" meiryo="" white-space:="" style="color: rgb(85, 85, 85);"/>D:直徑
N:全區(qū)域
Tm:Ta厚度
標(biāo)準(zhǔn)交付周期:12個(gè)星期
產(chǎn)品示例
| |
| 菲涅耳波帶板(FZP)直徑:250微米,Ta厚度:125納米,最外區(qū)域?qū)挾龋?5納米,膜:SiC 2.0微米 | |
|
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| 菲涅耳波帶板(FZP)直徑:100微米,Ta厚度:2.5微米,最外區(qū)域?qū)挾龋?50納米,膜:SiN 2.0微米 | |
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| 菲涅耳波帶板(FZP)直徑:100微米,Ta厚度:4.0微米,最外區(qū)域?qū)挾龋?00納米,膜:SiC 2.0微米 | |
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菲涅耳波帶板(FZP)中間區(qū)域的SEM 圖:臺(tái)階(基諾全息照片)式菲涅耳波帶板(FZP)、Ta圖案 | |











































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