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MLA 100 無掩模光刻儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-03-13
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量198
  • 人氣值6680
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MLA 100 無掩模光刻儀
MLA 100 無掩模光刻儀 產(chǎn)品詳情

MLA100 無掩模光刻

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以實惠的價格,重點是高性能設計,MLA100是許多研發(fā)應用的光刻方案。該光學系統(tǒng)被設計以50平方毫米/分鐘直接進入光致抗蝕劑的速度來寫結構下降到1微米,而無需光掩模。光掩模從光刻工藝中消除會增加靈活性和顯著縮短成型或制造周期。該MLA100由曝光向導(GUI)控制,這通過完整的程序引導操作員來操作:加載基底,選擇設計和開始曝光。隨著60x1875px2的足跡MLA100的設計,以適應甚至到較小的研發(fā)實驗室,并且只需要為操作提供電源和壓縮空氣。

MLA100的應用領域包括生命科學,微機電系統(tǒng),微光學,半導體,傳感器,執(zhí)行器,微光機電系統(tǒng),材料研究,納米管,石墨烯,這任何一項應用都需要微光顯示結構。

主要特征:

寫速度 50mm^2/min

最小基板尺寸 6”x 6”

曝光區(qū)域 100×100mm^2

最小結構 1um

高功率LED光源

SLM基于光引擎

多種數(shù)據(jù)輸入格式

基本灰度曝光模式

對準攝像系統(tǒng)

實時自動對焦

優(yōu)化的曝光向導


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