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公司介紹主營產(chǎn)品

~上海瞬渺光電技術(shù)有限公司成立于 2004 年，坐落于*航天科技城——上海莘莊工業(yè)園
區(qū)。主要從事品牌激光、光電子、光機械、光學(xué)儀器和光纖通訊等光電產(chǎn)品的設(shè)計、引
進、咨詢和經(jīng)銷。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

DWL66+

DWL66+ 產(chǎn)品詳情

DWL66+

DWL66+激光光刻系統(tǒng)是一個經(jīng)濟的，高分辨率模式發(fā)生器為低容量掩模制造和直寫。這個系統(tǒng)的靈活性和功能讓最終的光刻研究工具用于微電子機械系統(tǒng)，生物微機電，微光學(xué)，專用集成電路，微流體，傳感器，計算機全息技術(shù)，還有其他的微型機構(gòu)的應(yīng)用。用DWL66+的客戶在世界范圍內(nèi)包含了超過150個的大學(xué)和研究設(shè)備處。這個系統(tǒng)的很多功能一直在與這些機構(gòu)進行密切的合作開發(fā)。

重要特征選項

基板尺寸9”x 9”

最小描繪尺寸0.6um

最小描繪網(wǎng)格10nm

*的灰度曝光模式

實時的自動對焦系統(tǒng)

客戶特定激光源

矢量和柵格曝光模式

可交換的寫模式

攝像系統(tǒng)計量和校準(zhǔn)

前后面對齊

人工氣候室

多種數(shù)據(jù)輸入格式

用戶編程接口

技術(shù)參數(shù)

寫入模式	1	2	3	4	5	6
地址網(wǎng)格（nm）	10	20	25	50	100	200
最小結(jié)構(gòu)大?。╱m）	0.6	0.8	1	2	4	7
寫速度（mm^2/min）	6	25	39	145	500	1000
邊緣粗糙度（3σ，nm）	50	70	80	110	160	240
線寬均勻度（3σ，nm）	60	80	100	180	250	500
線條測量精度（3σ，nm）	100	120	150	250	400	800

關(guān)鍵詞：發(fā)生器人工氣候室

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
成像輻照度測試系統(tǒng)	￥158000	杭州市	浙江虹譜光色科技有限公司	2026-09-30	在線詢價
激光功率測量積分球	面議	上海市	上海倍藍光電科技有限公司	2026-09-30	在線詢價
成像亮度計眩光分析儀	面議	杭州市	杭州貝諾光學(xué)科技有限公司	2026-09-29	在線詢價
全自動型激光粒度測試儀優(yōu)勢	面議	東莞市	廣東科寶試驗設(shè)備有限公司	2026-09-22	在線詢價
植物表型成像檢測系統(tǒng)	面議	杭州市	杭州雙色智能檢測儀器有限公司	2026-09-21	在線詢價
白光干涉儀半導(dǎo)體&LED刻蝕全流程測量方案	￥960000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2026-09-17	在線詢價

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