uPG 101
uPG 101 是很經(jīng)濟(jì),容易去用微型發(fā)生器進(jìn)行直寫應(yīng)用和低容量掩模制作的一個系統(tǒng)。這個系統(tǒng)可運(yùn)用的應(yīng)用有,微電子機(jī)械系統(tǒng)、生物微系統(tǒng)、集成光學(xué)、微流道或者其他需要高分辨率的微型系統(tǒng)。他的面積很小只有60*1875px^2,*的緊湊結(jié)構(gòu),使得所有的電子分量都可以完整的包含在這個系統(tǒng)中。個人電腦可以用來控制這個系統(tǒng),這個基于操作軟件的圖形用戶界面使用戶更容易去進(jìn)行設(shè)計(jì),生成目錄,自動對準(zhǔn)和生成曝光。

重要特征選項(xiàng)
最小基板尺寸 6”x 6”
最小廟會尺寸0.6um
最小描繪網(wǎng)格20nm
基本灰度曝光模式
實(shí)時自動對焦系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)或者紫外二級管激光源
矢量和柵格曝光模式
可交換的寫模式
攝像系統(tǒng)的一致性
多種數(shù)據(jù)輸入模式
技術(shù)參數(shù)
寫入模式 | 1 | 2 | 3 | 4 |
最小結(jié)構(gòu)大小(um) | 0.6 | 1 | 2.5 | 5 |
寫速度(mm^2/min) | 1 | 5 | 35 | 90 |
地址網(wǎng)格(nm) | 20 | 40 | 100 | 200 |
邊緣粗糙度(3σ,nm) | 100 | 120 | 200 | 400 |
線寬均勻度(3σ,nm) | 150 | 200 | 400 | 800 |
線條測量精度(3σ,nm) | 200 | 200 | 400 | 800 |




























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