● 采用高精度花崗巖底座和立柱,確保機(jī)臺(tái)擁有的高穩(wěn)定性和精確度;
● 采用高精密無(wú)牙光桿和快速移動(dòng)鎖緊裝置,確保工作臺(tái)回程誤差在2um以內(nèi);
● 采用高精度*儀器光學(xué)尺配合精密工作臺(tái),確保機(jī)臺(tái)精度在≤2.5+L/200um以內(nèi);
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數(shù)字相機(jī),確保畫(huà)質(zhì)清晰無(wú)畸變;
● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源,以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊,可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度;
● 進(jìn)口接觸式探針和功能*的iMeasuring3.1三維影像測(cè)量軟件,提升品質(zhì)管控到新的臺(tái)階;
● 可選FexQMS測(cè)量數(shù)據(jù)分析及和實(shí)時(shí)監(jiān)控軟件,提升制程控制、降低物料耗損。
| 儀器型號(hào) | iMS-5040P |
| 儀器貨號(hào)# | 521-180P |
| 大理石工作臺(tái) | 708x470mm |
| 玻璃工作臺(tái) | 556x348mm |
| X/Y軸行程 | 500x400mm |
| Z軸 | 高精度直線導(dǎo)軌,有效行程200mm |
| X/Y/Z軸分辨率 | 0.0005mm |
| X/Y軸精度 | ≤2.5+L/200(um) |
| 重復(fù)精度 | 2um |
| 底座和立柱 | 高精度濟(jì)南青花崗巖 |
| 照明系統(tǒng)(軟件調(diào)控) | 表面4環(huán)8區(qū)無(wú)級(jí)可調(diào)LED冷光源,每區(qū)可獨(dú)立調(diào)控 |
| 透射LED平行(面)光源 | |
| LED鐳射導(dǎo)航指示燈 | |
| CCD | 高分辨率650TVL彩色CCD |
| 變焦物鏡 | 6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡 |
| 光學(xué)放大倍率:0.7X~4.5X倍;視頻放大倍率:26X~172X | |
| 工作環(huán)境 | 溫度:20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr |
| 濕度:30% ~80%RH | |
| 震動(dòng)<0.002g,低于15Hz | |
| 測(cè)量軟件 | iMeasuring 3.1 |
| 操作系統(tǒng) | 支持XP,WIN7,WIN8.1,WIN10,32/64位操作系統(tǒng) |
| 操作語(yǔ)言 | 英文、簡(jiǎn)體中文、繁體中文,可增加其他語(yǔ)言版本 |
| 外形尺寸(WxDxH) | 1104x867x1093mm |
| 凈重 | 380Kg |


































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