法國STIL三維表面輪廓測量儀

配置“點”傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)

MICROMESURE2系統(tǒng)，配置CCS-Prima,STIL-DUO傳感器，是非接觸式表面測量的理想工具，包含3D粗糙度，形狀測量和3D微觀形貌。

MICROMESURE2系統(tǒng)，重復(fù)利用了STIL非接觸式傳感器在各種應(yīng)用和領(lǐng)域的性能。

與配套的控制器&采集硬件和軟件一起交付，MICROMESURE2系統(tǒng)是一套整機(jī)，啟動后立刻執(zhí)行（指令）。

借助光譜共焦傳感器

• 非接觸式尺寸測量
• 納米和微米分辨
• 白光傳感器（無斑點，大測量范圍）
• 同軸測量（無陰影）
• 鏡面上的高局部斜率（反射式）
• 對環(huán)境光不敏感
• 可測金屬，玻璃，半導(dǎo)體，陶瓷和其他更多材料
• 透明物體的厚度測量方式
• 具有大測量范圍能力（20μm-24mm）

借助高質(zhì)量的掃描系統(tǒng)

• Z軸0.1μm編碼器（系列產(chǎn)品）
• X&YZ軸0.1μm編碼器（可選擇）
• 低震動
• 正交性和平面度校正
• 透明的作業(yè)空間，避免氣流震蕩

配置線傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)

2014年產(chǎn)品：配置了MPLS180線傳感器的MICROMESURE2

4個光學(xué)頭可選：Nano view,Micro View,Deepview,Wire view

專用軟件：Line SensorMap

MICROMESURE2系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

MICROMESURE2系統(tǒng)表面圖像處理及采集軟件

應(yīng)用類型：

• 形狀及紋理分析
• 精密機(jī)械檢測
• 表面特征分析
• 3D高度和厚度，形貌/輪廓
• 粗糙度測量
• 尺寸測量

應(yīng)用領(lǐng)域

• 機(jī)械（粗糙度，摩擦力，3D計量，腐蝕分析......）
• 玻璃行業(yè)(浮法玻璃在線厚度控制，3D計量......)
• 微電子（粗糙度,3D計量，缺陷分析）
• 光學(xué)（粗糙度，3D計量......）
• 鐘表(平面度，粗糙度，厚度......)
• 核燃料工業(yè)(粗糙度，摩擦度，3D計量，腐蝕分析......)
• 航空航天(粗糙度，渦輪形狀）

選擇：

• 后期處理軟件：來自法國圖像技術(shù)的MountainsMap
• 用于實際3D測量的X&Y軸的線性編碼器（位置精度=1μm/100mm）
• 錄影機(jī)
• 用于更換光筆的簡單刀塔或雙刀塔
• 減震支架
• 1軸和2軸配置
• X&Y軸行程可達(dá)300mm定制
• Z軸行程可達(dá)100mm定制

計量工件

• 校準(zhǔn)槽(深度為10μm)
• 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)(Ra=0.8μm)
• 光學(xué)平面（直徑=140mm）
• 位移光罩(用于設(shè)置錄影機(jī)偏移)