| 測(cè)量項(xiàng)目 | |
| 測(cè)量項(xiàng)目 | 點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理(圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等)、點(diǎn)、點(diǎn)、距離、角度處理(坐標(biāo)夾角、直線夾角)、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度(對(duì)數(shù)曲線)、輪廓度等參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 | |
| X軸(橫導(dǎo)軌) | 100mm |
| Z1軸(傳感器) | 50mm |
| Z軸(立柱) | 400mm |
| 測(cè)量精度 | |
| X軸 (L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離) | ±(1+L/300)μm |
| Z1軸 (H=Z1軸方向測(cè)量高度) | ±(1+2H/100) μm |
| X軸水平臂 | |
| 直線度 | 0.8μm/100mm |
| 光柵分辨率 | 0.05μm |
| 光柵產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| Z1軸傳感器 | |
| 分辨率 | 0.02μm |
| 傳感器類型 | 光柵傳感器 |
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| 移動(dòng)方向 | 前/后 雙方向 |
| 測(cè)力 | 0.5-6g |
| 測(cè)針針尖 | 硬質(zhì)合金 R:0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
| 速度 | |
| 測(cè)量速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s(自定義) |
| 定位速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s(自定義) |
| 圖形放大/縮小 | |
| 圖形放大 | 可任意縮小、放大 |
| 綜合調(diào)整臺(tái) | |
| 綜合調(diào)整臺(tái) | X軸水平傾斜調(diào)整范圍:±30° Y軸方向調(diào)整范圍:±7.5mm Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度(帶微調(diào)裝置) |
| 安裝要求 | |
| 電源 | 220-240V AC, 50HZ,單獨(dú)地線;功率消耗450W |
| 壓縮空氣 | 純凈壓縮空氣:氣壓0.4MP,消耗0.1m3 /min (氣源供給0.6MP,0.25m3 /min以上) |
| 環(huán)境要求 | 工作溫度:10°-30°(常溫);濕度20-80%RH(無結(jié)露),良好地線,無明顯振源 |


































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