| 測(cè)量項(xiàng)目 | |
| 粗糙度 部分 | Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr |
| 輪廓儀 部分 | 點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理(圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等)、點(diǎn)、點(diǎn)、距離、角度處理(坐標(biāo)夾角、直線夾角)、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度(對(duì)數(shù)曲線)、輪廓度等參數(shù) |
| 粗糙度 測(cè)量范圍 | |
| X軸 | RA:0.005μm—16.00μm |
| Z1軸 | ±20μm、±40μm、±80μm |
| 取 樣 長(zhǎng) 度 L | 0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動(dòng) |
| 評(píng) 定 長(zhǎng) 度 | 1L—5L(可選 L為取樣長(zhǎng)度) |
| 測(cè)量行程長(zhǎng)度 | 3L—7L(可選 L為取樣長(zhǎng)度) |
| 輪廓儀 測(cè)量范圍 | |
| X軸(橫導(dǎo)軌) | 100mm |
| Z1軸(傳感器) | 25mm |
| Z軸(立柱) | 400mm |
| 粗糙度 測(cè)量精度 | |
| 示值誤差 1 | 0.001μm |
| 示值誤差 2 | ≤±7% |
| 輪廓儀 測(cè)量精度 | |
| X軸 (L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離) | ±(1.2+2L/100)μm |
| Z1軸 (H=Z1軸方向測(cè)量高度) | ±(1.5+3H/100)μm |
| X軸水平臂 | |
| 直線度 | 1μm/100mm |
| 光柵分辨率 | 0.1μm |
| 光柵產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| Z1軸傳感器 | |
| 分辨率 | 0.1μm |
| 傳感器類型 | 光柵傳感器 |
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| 移動(dòng)方向 | 前/后 雙方向 |
| 測(cè)力 | 0.5-6g |
| 測(cè)針針尖 | 硬質(zhì)合金 R:0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
| 驅(qū)動(dòng)行程 | |
| 驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度 | 17.5mm/0.71 inch |
| 最小驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度 | 1.3mm/0.052 inch |
| 粗糙度 速度 | |
| 測(cè)量速度 | 0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s |
| 輪廓儀 速度 | |
| 測(cè)量速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s(自定義) |
| 定位速度 | 0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s(自定義) |
| 圖形放大/縮小 | |
| 圖形放大 | 可任意縮小、放大 |
| 綜合調(diào)整臺(tái) | |
| 綜合調(diào)整臺(tái) | X軸水平傾斜調(diào)整范圍:±30° Y軸方向調(diào)整范圍:±7.5mm Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度(帶微調(diào)裝置) |
| 安裝要求 | |
| 電源 | 220-240V AC, 50HZ,單獨(dú)地線;功率消耗450W |
| 壓縮空氣 | 純凈壓縮空氣:氣壓0.4MP,消耗0.1m3 /min (氣源供給0.6MP,0.25m3 /min以上) |
| 環(huán)境要求 | 工作溫度:10°-30°(常溫);濕度20-80%RH(無(wú)結(jié)露),良好地線,無(wú)明顯振源 |


































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