LW104氟油檢漏設(shè)備是與氦質(zhì)譜檢漏儀配套使用的,針對(duì)半導(dǎo)體、電子元器件進(jìn)行密封性、可靠性檢漏的專用設(shè)備,能完成GJB548-96標(biāo)準(zhǔn)和GJBI128A-97標(biāo)準(zhǔn)中,對(duì)半導(dǎo)體器件零件進(jìn)行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。
主要組成:
抽真空系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、氟油檢漏儀。
技術(shù)指標(biāo):
機(jī)械泵抽速:4L/S
真空度………………≤100Pa
壓力罐尺寸mm:直徑150*高200
充氦壓力…………0.2~1.0Mpa
保壓時(shí)間……… 1~10h
氟油檢漏儀加熱溫度…125±5℃

































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