
- 設(shè)備用途
本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理,或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?
- 設(shè)備特點(diǎn)
1.雙層SUS304爐體結(jié)構(gòu),中間通以冷卻水,有效降低爐體表面溫度,減少高溫傷害,降低對(duì)環(huán)境的影響;
2.采用*的保溫材料及隔熱結(jié)構(gòu),導(dǎo)熱系數(shù)低,保溫效果好,即使在很高的溫度下也能有效隔絕熱量,節(jié)約能耗;
3.能夠準(zhǔn)確控制氣體流量和壓力,通過(guò)特殊的導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)和裝置,大大提高產(chǎn)品的合格率,降低沉積時(shí)間;
4.通過(guò)特殊的過(guò)濾裝置,使其熱解過(guò)程的碳粉幾乎*過(guò)濾,不進(jìn)入真空機(jī)組,大大延長(zhǎng)了真空機(jī)組的使用壽命;
5.人性化配置,既可以手動(dòng)操作,也可以實(shí)現(xiàn)一鍵智能操作;
6.型式多樣化,立式上開(kāi)門(mén)、立式底升式、臥式側(cè)開(kāi)門(mén),任意選擇;
7.本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制。
- 設(shè)備參數(shù)
型號(hào) | 工作區(qū)尺寸 | 溫度 | 溫度均勻性 | 冷態(tài)極限真空度 | 壓升率 | 加熱功率 |
HVCVD-2030 | Φ200×300 | 1500 | ±5 | 50 | 3 | 25 |
HVCVD-2540 | Φ250×400 | 1500 | ±5 | 50 | 3 | 40 |
HVCVD-3050 | Φ300×500 | 1500 | ±5 | 50 | 3 | 55 |
注:以上技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。 | ||||||

































石狮市|
寿阳县|
平南县|
平湖市|
华宁县|
吴忠市|
清徐县|
普兰店市|
蕲春县|
黑河市|
项城市|
佳木斯市|
肥城市|
金堂县|
盘锦市|
冀州市|
那曲县|
额敏县|
永胜县|
岳阳市|
鹤岗市|
隆子县|
鄱阳县|
久治县|
惠州市|
比如县|
贺兰县|
梓潼县|
九台市|
九寨沟县|
杭州市|
德清县|
保康县|
迭部县|
博兴县|
英吉沙县|
成武县|
惠安县|
丰镇市|
西城区|
桐梓县|