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CVD/CVI/PECVD系統(tǒng)

參考價
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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-04-27
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量12
  • 人氣值657
產(chǎn)品標(biāo)簽

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設(shè)備特點1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達10-4Pa
CVD/CVI/PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

  1. 設(shè)備特點


1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達10-4Pa;
2.可配合壓強控制儀控制氣體壓力,實現(xiàn)負壓的精準控制;
3.數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;
4.每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性;
5.采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
6.管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
7.超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用安全可靠;
8.PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,更容易發(fā)生反應(yīng)。


  1. 設(shè)備參數(shù)

類別

加熱爐

射頻電源

真空系統(tǒng)

混氣系統(tǒng)

壓強控制系統(tǒng)

尾氣處理系統(tǒng)

溫度

加熱區(qū)

型式

管徑

長度

CVD

1200~1700℃

220~440mm

臥式、滑動式

Φ60~Φ100

600~1600

無

10Pa
1Pa
5*10-3Pa
(可選)

MFC單路或多路控制

可選

  1. 過濾
  2. 燃燒
  3. 冷凝
  4. 中和反應(yīng)

(可選)

CVI

1200~1700℃

220~440mm

立式、滑動式

Φ60~Φ100

600~1600

無

PECVD

1200℃

220~440mm

臥式、滑動式

Φ60~Φ100

1200~1600

300~500W




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