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等離子體增強型CVD設備 PD-3800L

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面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18386
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
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PD-3800L是一種能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)的鎖載等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)
等離子體增強型CVD設備 PD-3800L 產(chǎn)品詳情

PD-3800L是一種能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)的鎖載等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)。

該系統(tǒng)由于采用了大型反應室,并通過載盤裝載多片晶圓進行批量處理,因此產(chǎn)量較高。在直徑360mm的區(qū)域內可以沉積出具有優(yōu)異的厚度均勻性和應力控制的薄膜,具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面用于參數(shù)控制和配方存儲。該系統(tǒng)是大規(guī)模生產(chǎn)用薄膜沉積的理想選擇,具有優(yōu)異的重復性。

主要特點和優(yōu)勢

加工范圍:?360 mm (?3" x 9, ?4" x 6, ?6" x 3)

優(yōu)異的均勻性和應力控制

的工藝穩(wěn)定性和可重復性

堅固的系統(tǒng),的運行/維護成本

用戶友好的觸摸屏界面,用于參數(shù)控制和配方存儲。

應用

SiH4-SiNx

SiH4-SiO2

液體前驅體(SN-2)SiNx。

TEOS-SiO2

等離子體增強型CVD設備 PD-3800L

關鍵詞:觸摸屏
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