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二手翻新佳能i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-8000iW

參考價(jià)
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-05-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18810
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公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備,以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理,形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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二手翻新佳能i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-8000iW處理515*510mm的大型面板基板,可實(shí)現(xiàn)大封裝PLP生產(chǎn),同時(shí)具備1.0μm的分辨率,高效靈活
二手翻新佳能i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-8000iW 產(chǎn)品詳情

二手翻新佳能i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-8000iW處理515*510mm的大型面板基板,可實(shí)現(xiàn)大封裝PLP生產(chǎn),同時(shí)具備1.0μm的分辨率,高效靈活。

特征和優(yōu)勢

i-line stepper "FPA-8000iW" 適用于 515 x 510mm 的大型面板基板

  • 寬曝光范圍(52 毫米 x 68 毫米或 55 毫米 x 55 毫米)。
  • 1.0 μm 的高分辨率可在寬廣的曝光范圍內(nèi)使用。
  • 高分辨率和寬曝光范圍相結(jié)合,為半導(dǎo)體封裝提供了高生產(chǎn)率和進(jìn)一步小型化、更大的器件尺寸和降低成本。

支持在大型基板上進(jìn)行高效封裝

針對使用面板基板的封裝工藝,佳能開發(fā)了一種新的步進(jìn)平臺,能夠處理大型 515 x 510 毫米面板基板。嚴(yán)重的翹曲在大型面板基板中也很常見,新的平臺和面板進(jìn)給系統(tǒng)可以克服高達(dá) 10 毫米的面板翹曲。因此,F(xiàn)PA-8000iW 可以幫助客戶實(shí)現(xiàn)大封裝 PLP 生產(chǎn)的高生產(chǎn)率和高效率。

實(shí)現(xiàn) 1.0 μm 的分辨率,可實(shí)現(xiàn)高級封裝

佳能的投影光學(xué)系統(tǒng)支持 52 x 68 mm 的寬廣曝光范圍,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了 1.0 μm 的分辨率,這是支持面板基板工藝的封裝曝光系統(tǒng)中分辨率的。因此,面板級封裝等*封裝技術(shù)可以進(jìn)行創(chuàng)新,為電子系統(tǒng)設(shè)計(jì)提供高集成度和靈活性。

二手翻新佳能i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-8000iW

規(guī)格參數(shù)

解析度
≦ 1.0 µm
NA(數(shù)值孔徑)
0.24-0.12(可變)
減速比
1:2
字段大小
52 毫米 x 68 毫米或 55 毫米 x 55 毫米
曝光波長
i 線 365 納米
光罩尺寸
6英寸
基板尺寸
可加工實(shí)際尺寸 515 x 510 mm(:515 x 515 mm)
疊加精度
≦ 200 納米
主體尺寸
(W) 3,000 × (D) 4,800 × (H) 2,700 毫米
主要選項(xiàng)
PC 遠(yuǎn)程控制臺
翹曲面板處理選項(xiàng)(真空輔助裝置)
抗排氣裝置 Pellicle 
Particle Checker
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