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ASML ARF曝光機,二手翻新步進(jìn)掃描光刻機PAS 5500-750C

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18944
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公司主營實驗室分析檢測儀器設(shè)備,以實驗室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設(shè)計出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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PAS5500/750FDUV步進(jìn)掃描系統(tǒng)使用成熟的248nmKrF技術(shù),可以實現(xiàn)130nm的大規(guī)模生產(chǎn)
ASML ARF曝光機,二手翻新步進(jìn)掃描光刻機PAS 5500-750C 產(chǎn)品詳情

PAS5500/750F DUV步進(jìn)掃描系統(tǒng)使用成熟的248nmKrF技術(shù),可以實現(xiàn)130nm的大規(guī)模生產(chǎn)。它結(jié)合了改進(jìn)的0.7NA 4倍還原鏡頭的成像能力與調(diào)平系統(tǒng)中的多點創(chuàng)新,以及空中II照明技術(shù),包括類星體、多極照明和可選的多重曝光能力。該系統(tǒng)配備了TTL對齊和ATHENA,以提高后端工藝層的對齊精度,配備了一個小于25nm的長期單機覆蓋。

步進(jìn)掃描光刻機PAS 5500-750C進(jìn)一步減少開銷時間,并結(jié)合提高客戶作業(yè)的生產(chǎn)率,提供了130片/h晶圓(200毫米)的生產(chǎn)吞吐量。應(yīng)用2kHz20WKrF激光器可以獲得的操作成本。

ASML ARF曝光機,二手翻新步進(jìn)掃描光刻機PAS 5500-750C

特點與優(yōu)勢:

Variable, 0.7 NA Deep UV Projection Lens
Production resolution down to 130 nm.
Step and Scan
Large field size, better CD control and lower lens aberrations.
AERIAL II Illumination with QUASAR and Optional Multiple Exposure Capability
Provides the ultimate flexibility in illumination modes at maximum throughput.
PAS 5500 Step-and-Scan Body
Commonality with i-line and 193-nm Step-and-Scan tools for economic mix-and-match.
8-Spot Level Sensor
Improved focus and leveling under production conditions.
ATHENA Advanced Alignment
Increased alignment accuracy process latitude.
Includes 2kHz 20W KrF Laser Technology with VariableLaser Frequency Control
The perfect combination of high laser power for high throughput and efficient use of laser pulses for

the lowest possible laser Cost of Operation.

ASML ARF曝光機,二手翻新步進(jìn)掃描光刻機PAS 5500-750C


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