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公司介紹主營產(chǎn)品

公司主營實驗室分析檢測儀器設(shè)備，以實驗室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設(shè)計出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運營管理，形成完整的專業(yè)實驗室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡介在線詢價

這些i-line步進器具有與尼康DUV掃描儀相同的縮小率和視場大小，是曝光次臨界層的理想選擇，這些層大約占設(shè)備20層或更多層的一半

尼康Nikon 二手翻新現(xiàn)貨i線步進式光刻機NSR-SF120 產(chǎn)品詳情

這些i-line步進器具有與尼康DUV掃描儀相同的縮小率和視場大小，是曝光次臨界層的理想選擇，這些層大約占設(shè)備20層或更多層的一半。這些特性與高產(chǎn)量相結(jié)合，提供了成本性能和生產(chǎn)力的組合，有助于降低資本成本。

NSR-SF120的設(shè)計方式類似于掃描型KrF步進器NSR-S204B、NSR-S205C和NSR-S206D，以及ArF步進器NSR-S305B和NSR-S306C。新開發(fā)的高數(shù)值孔徑鏡頭使i-line分辨率飛躍至280 nm。該系統(tǒng)可以有效地暴露次臨界層以支持130-100 nm設(shè)備節(jié)點，同時為300 mm時代提供高吞吐量。尼康Nikon 二手翻新現(xiàn)貨i線步進式光刻機NSR-SF120

團隊介紹

ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調(diào)試及維護的核心技術(shù)能力。國內(nèi)完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部光刻機工程案例的團隊。

針對12英寸及以下的不同尺寸（包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石等）、不同掩模版尺寸的要求，可實現(xiàn)自主設(shè)計、加工制造、集成調(diào)整的改造能力。

能夠進行包括光學(xué)系統(tǒng)在內(nèi)的全面翻新、調(diào)試、測試，具備完整的運行保障能力，和備品備件的供應(yīng)。

針對不同產(chǎn)品（如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS 等），具備的工藝人才和技術(shù)基礎(chǔ)，能夠針對不同的產(chǎn)品特性進行設(shè)備選型、技術(shù)匹配及工藝試驗。

技術(shù)參數(shù)表

驗收項目	機型指標(biāo)	條件
☆最小解析線寬	0.30um	5pts V/H , resist thickness <1.0um
☆最小解析線寬UDOF UDOF	0.5um	5poits 0.35um L&S V/H full field guarantee
☆CD均勻性	≤50nm	5points V/H: 0.35um L&S film thickness<1um
Focus calibration repeatability	3sig≤60nm	20 times measurement
☆鏡頭畸變	within ±25nm	37 pionts measurement
maximum area	25mm*33mm
reticle blind setting accuracy	0.4mm to 0.8mm
Exposure power	≥1200mw/cm2
Intergrated exposure control	within ±1%	Input time:100,200,400,800msec
☆光強均勻性Illumination uniformity	within 1.5%	5 times measurement
Reticle rotation (1) absolute value (2) repeatability	within 20nm	With slow mode
☆對準(zhǔn)精度 Overlay accuracy (1)lsa-ega (2)fia-ega	(1) 3sig ≤ 40nm (2) 3sig ≤ 40nm	Overly of resist images (1) lsa-ega 10piont shot center (2) fia-ega 10piont shot center
Array Orthogonality	within ±0.1sec	Average of 3 wafers
☆工作臺步進精度Stepping precision	3sig≤25nm	Measured on 3 wafers
operational test (1)wafer system (2)reticle system	(1) success rate 99% (2) success rate 99%	(1)100 wafers 2nd exposure (2)3 times for every slot
Wafer pre-alignment	6inch:3sig≤15um	100times measurement Y,X,T
Focus stability	MAX-MIN≤0.6um	Continue 1week(5days)
magnification error	within 15nm	Make judgment from 3points
☆Throughout （1）lsa-ega （2）fia-ega	（>72pcs/hr）	32shots(150mm,25pcs);130msec (1) lsa-ega 10 points (2) fia-ega 10 points
☆像面傾斜度INC	<0.25um	5 POINT V/H
Astigmatism total focus deviation 0.35um L&S	≤0.2um	5points V/H: 0.35um L&S film thickness<1um
Field Curvature	≤0.25um	5 points V/H
☆特殊照明方式RET	具備	具備Annual/Shrinc照明方式
Chip leveling accuracy	within ±1.5sec	5 times measurement
Chuck Flatness	Max-Min≤2.5um	SEMI STD silicon wafer
Chuck TTV	TTV within 1um	Chuck specification report

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
肉食品檢測儀器	￥6000	濰坊市	山東來因光電科技有限公司	2026-09-12	在線詢價
病害肉檢測儀	￥7000	青島市	青島聚創(chuàng)環(huán)保集團有限公司	2026-09-11	在線詢價
膠體金食品安全檢測儀	面議	長治市	山西信偉慧誠科技有限公司	2026-09-09	在線詢價
石油蠟凍凝點測定儀	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-03	在線詢價
食品快檢設(shè)備	￥5950	濰坊市	山東優(yōu)云譜光電科技有限公司	2026-09-02	在線詢價
肉類新鮮度檢測儀	面議	濰坊市	山東霍爾德電子科技有限公司	2026-09-01	在線詢價

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