TWINSCAN NXT:1970Ci 步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級浸沒式光刻工具，專為在成熟節(jié)點(diǎn)批量生產(chǎn) 300 毫米晶圓而設(shè)計(jì)。

01. 生產(chǎn)力

在ASML二手DUV光刻機(jī)中，新穎的氣體壽命延長減少了機(jī)器停機(jī)時間，并加強(qiáng)了經(jīng)過驗(yàn)證的 6 kHz ArF 激光技術(shù)，以提供高功率以支持高吞吐量。浸沒罩設(shè)計(jì)改進(jìn)拓寬了使用無面漆的低接觸角抗蝕劑優(yōu)化缺陷率的窗口。

與 TWINSCAN NXT:1970Ci 維護(hù)計(jì)劃程序一起，綜合服務(wù)包通過利用系統(tǒng)空閑時間執(zhí)行所需的日常維護(hù)來優(yōu)化系統(tǒng)可用性。

TWINSCAN NXT:1970Ci 平面雙載物臺的剛度增加，提供了更高的速度和加速度，從而允許更快的步進(jìn)和掃描序列。

加上更快的卡盤更換，新設(shè)計(jì)在生產(chǎn)力方面向前邁出了一大步。此外，對可維護(hù)性的嚴(yán)格關(guān)注導(dǎo)致設(shè)計(jì)在需要時易于訪問。

02. 光學(xué)

TWINSCAN NXT:1970Ci 包括一個1.35NA 193 nm折反射投影鏡頭，可實(shí)現(xiàn)低至40nm（C-quad）和38 nm（偶極子）的生產(chǎn)分辨率，以及支持全26*33mm 視場大小、4X減少和與現(xiàn)有設(shè)計(jì)的標(biāo)線兼容性。

鏡頭元件配備了用于校正光學(xué)像差的操縱器，從而為低 k1 應(yīng)用實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力。FlexRay Prepared Illuminator 通過擴(kuò)展傳統(tǒng)和離軸照明的范圍來實(shí)現(xiàn)的靈活性，以實(shí)現(xiàn)用于低 k1 成像的高級瞳孔整形。

03. 成像性能

NXT:1970Ci 可以實(shí)現(xiàn) ≤ 2.0 nm 的單機(jī)（專用卡盤）全晶圓覆蓋覆蓋，以及 ≤ 3.5 nm 的匹配機(jī)（參考晶圓）全晶圓覆蓋覆蓋。

該系統(tǒng)的平行 ILIAS (PARIS) 傳感器允許客戶對整個投影狹縫中的光學(xué)像差進(jìn)行平行測量，從而實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的對準(zhǔn)、改進(jìn)的標(biāo)線加熱校正和動態(tài)鏡頭加熱校正。