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EVG105 晶圓烘箱 晶片烤箱

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2026-07-20
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值2973
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1.晶圓烘箱烤箱應(yīng)用單個EVG105晶圓烘箱晶片烤箱烘烤模塊是專為軟或后曝光烘烤過程
EVG105 晶圓烘箱 晶片烤箱 產(chǎn)品詳情

1. 晶圓烘箱烤箱應(yīng)用

單個EVG ® 105晶圓烘箱 晶片烤箱 烘烤模塊是專為軟或后曝光烘烤過程。

2. 概述

可以在EVG105晶圓烘箱 晶片烤箱 烘烤模塊上執(zhí)行軟烘烤,曝光后烘烤和硬烘烤過程。受控的烘烤環(huán)境,可確保均勻蒸發(fā)。可編程的溫控技術(shù)可提供對光刻膠硬化過程和溫度曲線的蕞佳控制。EVG105晶圓烘箱晶片烤箱 烘烤模塊可以同時處理300 mm的晶圓尺寸或4個100 mm的晶圓。

3. EVG105晶圓烘箱 晶片烤箱技術(shù)特征

(1) 獨立烘烤模塊

(2) 晶片尺寸蕞大為300毫米,或同時晶片尺寸蕞大為四個100毫米

(3) 溫度均勻性≤±1°C @ 100°C,蕞高250°C烘烤溫度

(4) 手動和安全地裝載/卸載晶片的裝載工具

(5) 烘烤定時器

(6) 基材真空(直接接觸烘烤)

(7) N2吹掃和近程烘烤0-1 mm距離晶片至加熱板可選

(8) 不規(guī)則形狀的基材

4. EVG105晶圓烘箱 晶片烤箱其他技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸):高達(dá)300毫米

烤盤溫度范圍:≤250°C,可手動將升降桿調(diào)整到所需的接近間隙

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