1. 簡介

LITHOSCALE 無掩模光刻機(jī)系統(tǒng)是一個(gè)革命性的，高度靈活的無掩模光刻曝光平臺(tái)面向容納晶片可達(dá)300毫米的各種微細(xì)加工應(yīng)用。

LITHOSCALE無掩模光刻曝光系統(tǒng)采用了EV Group的MLE™無掩模曝光技術(shù)通過結(jié)合*的數(shù)字處理功能來解決傳統(tǒng)瓶頸，該功能可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳輸和即時(shí)曝光，高結(jié)構(gòu)分辨率和吞吐量可伸縮性。它的無掩模曝光方法消除了與掩模相關(guān)的消耗品，而曝光系統(tǒng)及其可調(diào)諧固態(tài)激光源則具有高冗余度和較長的使用壽命穩(wěn)定性，并具有的自動(dòng)校準(zhǔn)功能，可蕞大程度地減少維護(hù)工作。*的實(shí)時(shí)數(shù)字處理功能可將設(shè)計(jì)文件立即暴露于基材，從而避免了每種數(shù)字掩模版圖的轉(zhuǎn)換時(shí)間。LITHOSCALE具有高分辨率（<2µm L / S），動(dòng)態(tài)裸片級(jí)可尋址整個(gè)基板表面的曝光，可實(shí)現(xiàn)靈活的無耗材處理和低成本（CoO）。LITHOSCALE系統(tǒng)利用具有可見和紅外功能的專用物鏡以及專有的卡盤設(shè)計(jì)集成了完整晶圓的頂部和背面對準(zhǔn)，可容納蕞大300 mm的晶圓。該系統(tǒng)具有自動(dòng)對準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)模式，以適應(yīng)基板材料和表面變化。精細(xì)控制焦點(diǎn)水平位置的能力可保持側(cè)壁陡峭以及抗蝕劑的所需3D輪廓，同時(shí)防止邊緣打底和打底。大的工作距離和自動(dòng)自適應(yīng)對焦功能可確保整個(gè)曝光表面的圖案均勻性。它還具有個(gè)性化的裸片處理能力，而快速的全場定位和動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)則可為各種尺寸和形狀的基板提供高度可擴(kuò)展性。

2. 特征

1) 晶圓/基板尺寸蕞大為300毫米/ 12英寸

2) 分辨能力<2 µm L / S

3) 配備具有膏端衍射極限光學(xué)元件的MLE技術(shù)

4) 375 nm和/或405 nm波長的曝光光譜；用戶可以定義為單一，寬帶或任何種類的波長混合

5) 定期監(jiān)控和自動(dòng)校準(zhǔn)的固態(tài)光源可確保其長期的穩(wěn)定性和高冗余度

6) *的對準(zhǔn)模式支持頂部和底部VIS和IR對準(zhǔn)功能

7) 聚焦控制深度（DoF）<24 µm

8) 自適應(yīng)自動(dòng)對焦控制（AF）<100 µm

9) 經(jīng)現(xiàn)場驗(yàn)證的高精度對準(zhǔn)平臺(tái)，嵌入高科技機(jī)電和校準(zhǔn)傳感器，可確保整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性

10) *的軟件功能包括：

動(dòng)態(tài)模具級(jí)注釋

*的失真補(bǔ)償

通過每個(gè)晶片的主機(jī)/靈活的掩模文件傳輸和配方執(zhí)行

布局轉(zhuǎn)換功能

備用格式文件支持：Gerber，ODB++，OASIS

11) 自動(dòng)非接觸式楔形補(bǔ)償程序

12) 可擴(kuò)展的解決方案，可在一個(gè)系統(tǒng)中滿足研發(fā)和大批量制造（HVM）的需求，而不會(huì)增加占地面積

13) 無耗材技術(shù)

圖1 MLE 無掩模光刻曝光技術(shù)

3. 技術(shù)數(shù)據(jù)

1) 圖案的蕞小特征尺寸：CD：≤2 µm

2) 對齊方式：

頂部對齊：≤±0.5 µm

底部側(cè)面對準(zhǔn)：≤±1.0 µm

紅外對準(zhǔn)：≤±1.0 µm / 取決于基板材料

3) 曝光光譜（單，寬帶或任何種類的混合）：375 + 405納米

4) 晶圓直徑（基板尺寸）：高達(dá)300毫米

5) 楔形補(bǔ)償：非接觸式

6) 焦點(diǎn)：

焦點(diǎn)深度[DoF]：24 µm

自動(dòng)對焦[AF]：100 µm

7) 動(dòng)態(tài)對齊方式[DAM]

全領(lǐng)域一致

多點(diǎn)對準(zhǔn)

8) *的LITHOSCALE功能

每個(gè)主機(jī)通過主機(jī)/靈活的數(shù)字掩模文件傳輸和配方執(zhí)行

動(dòng)態(tài)注釋功能

自動(dòng)對焦功能

*的失真功能

布局轉(zhuǎn)換功能

Gerber文件格式支持

ODB ++文件格式支持

OASIS文件格式支持

9) 工業(yè)自動(dòng)化功能

盒式磁帶

FOUP

SECS / GEM

10) 系統(tǒng)控制

作業(yè)系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 配方和參數(shù)

靈活的流程定義

簡易的拖放配方編程

并行處理多個(gè)作業(yè)

多語言用戶GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR

實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問，診斷和故障排除

11) 智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能-Framework Software Platform

用于過程和機(jī)器控制的集成分析功能

并行任務(wù)/排隊(duì)任務(wù)處理功能

設(shè)備和過程性能根蹤功能

智能處理功能

發(fā)生和警報(bào)分析

智能維護(hù)管理和根蹤

圖2 MLE無掩模光刻示意圖