用途：
INSPECT系列測量金相顯微鏡適用于半導體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、晶片級CSP等領(lǐng)域。
 
儀器特點：
■ 高精度大理石底座和立柱、有效保證的穩(wěn)定性及剛性
■ 大理石工作臺設計、配合精密V型交叉導軌、長久使用不會變形，有效保證的機械精度
■ 高品質(zhì)光學系統(tǒng)和高分辨率CCD，確保擁有高品質(zhì)的測量畫面
■ 三環(huán)八區(qū)LED環(huán)形表面冷光源及輪廓光源、避免燈光發(fā)熱而影響精密工件的變形
■ 可選配日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪
■ 自主研發(fā)影像測量儀軟件、功能*、操作簡單
 
技術(shù)參數(shù)：

型號		INSPECT300	INSPECT400	INSPECT500
X、Y軸行程（mm）		300*200	400*300	500*400
載物臺玻璃尺寸(mm)		357*257	457*357	557*457
Z軸行程（mm）		100
X、Y、Z軸分辨率 (μm)		1
長度標準		光柵位移傳感器
精度 (μm)		2.5+L/150 L=被測工件長度，單位：mm
儀器操作		手動
圖像檢測裝置		高分辨率CCD攝像機
五段變倍鼻輪物鏡倍數(shù)		5X、10X、20X、50X
目鏡		WF10X
測量軟件		專業(yè)2D測量軟件
光源	反射照明	同軸落射光源
	透射照明	LED平行透射光源
電源		AC100~240V 50/60Hz