有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)技術(shù)作為一種新興顯示技術(shù)，具有器件輕薄、可視角度大、柔性顯示、節(jié)省電能等優(yōu)勢(shì)，已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。矽碁科技具有豐富的OLED系統(tǒng)集成經(jīng)驗(yàn)，可根據(jù)客戶(hù)需求，集成各類(lèi)工藝腔體，為客戶(hù)量身打造OLED技術(shù)開(kāi)發(fā)設(shè)備。矽碁提供兩種OLED設(shè)備架構(gòu)：

Cluster架構(gòu)：傳輸腔體連接各工藝腔體，機(jī)械手臂傳片，全自動(dòng)控制，可連續(xù)生產(chǎn)

In-line架構(gòu)：手套箱串接各工藝腔體，手動(dòng)傳片，架構(gòu)靈活，拓展性強(qiáng)，性?xún)r(jià)比高

矽碁科技擁有超過(guò)10年的OLED Cluster設(shè)備制造的經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)與學(xué)術(shù)和工業(yè)界都有非常密切的的合作。矽碁科技還與中國(guó)臺(tái)灣多家*的OLED研究機(jī)構(gòu)建有合作實(shí)驗(yàn)室(明志科技大學(xué)，曜凌光電)，長(zhǎng)期從事OLED技術(shù)研發(fā)和技術(shù)更新，可與客戶(hù)進(jìn)行深度的OLED技術(shù)交流及合作。

可選配置：

1 預(yù)處理腔體；

2 傳輸腔體；

3 有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜腔體；

4 金屬蒸發(fā)鍍膜腔體；

5 磁控濺射腔體；

6 原子層沉積封裝腔體；

7 高分子封裝鍍膜腔體；

8 Mask/基片存儲(chǔ)腔體；

9 機(jī)械/CCD對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)；

10 手套箱集成；

手動(dòng)傳樣三腔體OLED Cluster

帶ALD封裝的三腔體OLED Cluster

標(biāo)準(zhǔn)6邊型OLEDCluster

標(biāo)準(zhǔn)全自動(dòng)OLED Cluster鍍膜系統(tǒng)