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化學氣相沉積(PECVD)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2023-01-14
  • 廠商性質其他
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  • 產品數(shù)量73
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化學氣相沉積(ChemicalVaporDeposition,CVD)是指高溫環(huán)境下氣態(tài)反應劑在襯底表面發(fā)生化學反應生成薄膜的過程,廣泛應用于金屬、氧化物、氮化物及碳化物等無機薄膜的制備
化學氣相沉積(PECVD) 產品詳情

化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition, CVD)是指高溫環(huán)境下氣態(tài)反應劑在襯底表面發(fā)生化學反應生成薄膜的過程,廣泛應用于金屬、氧化物、氮化物及碳化物等無機薄膜的制備。PECVD(Plasma Enhanced CVD)是借助射頻使氣體電離產生局部等離子體,等離子體活性可有效促進反應,從而降低反應溫度,加快成膜速率。


技術參數(shù):

1 基片尺寸可定制;

2 低溫工藝:< 150℃ / 350℃;

3 多層式工藝氣體導入,氣體分布均勻;

4 獨立MFC控制箱,可靈活擴充工藝氣路;

5 基片內鍍膜均勻性優(yōu)于 ±5%;

6 可與手套箱集成;

關鍵詞:手套箱
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