FPPVA-380M 等離子體去膠機(jī)

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型號(hào)FPPVA-380M
品牌
所在地
更新時(shí)間2023-03-03

孚光精儀（中國(guó)）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值20937

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等離子體去膠機(jī)GIGAbatch360M和380M采用等離子體除膠清洗清潔功能為晶圓去膠提供晶圓去膠機(jī)

等離子體去膠機(jī) 產(chǎn)品詳情

等離子體去膠機(jī)GIGAbatch 360M和380M采用等離子體除膠清洗清潔功能為晶圓去膠提供晶圓去膠機(jī)。等離子體去膠機(jī)360M有一個(gè)直徑為245毫米的加工室，可容納多達(dá)50個(gè)直徑為150毫米的晶圓。等離子體去膠機(jī)380M腔室的內(nèi)徑為300mm,適合25個(gè)直徑為200mm的晶圓共同批量去膠清潔。
等離子體去膠機(jī)基本版本是一種帶有涂漆鑲板、可調(diào)節(jié)腳和腳輪的落地式設(shè)備。它有一個(gè)輸出功率為1000W的發(fā)電機(jī)、兩個(gè)MFC氣體管道、晶片溫度監(jiān)測(cè)和端點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)。此外，還包括用于固定晶圓和基板的裝置。它安裝在室內(nèi)艙門(mén)上，并根據(jù)各自的客戶(hù)要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。
等離子體去膠機(jī)可選配項(xiàng)目
過(guò)程壓力主動(dòng)控制裝置（DSC）
法拉第籠
附加氣體管道
不同尺寸基板或晶圓的加載裝置
陶瓷加工室
含氟工藝氣體操作專(zhuān)用密封

關(guān)鍵詞：發(fā)電機(jī)

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