場發(fā)射掃描電鏡semiron5000是高分辨率FE-SEM掃描電鏡,也是肖特基型高分辨率FE-SEM,采用65°錐形物鏡，專為大樣本檢測而*化-無限制分析附件的短距離工作,可配備EDS、EBSD和WDS等探測器實(shí)現(xiàn)寬樣本的高分辨率圖像。
場發(fā)射掃描電鏡特點(diǎn)
安裝65°錐形透鏡（適用于寬試樣）
提供分辨率和高像素分辨率圖像
安裝了超快掃描控制驅(qū)動(dòng)程序
提供多任務(wù)窗口
允許大數(shù)據(jù)處理、存儲(chǔ)和歸檔
通過自動(dòng)分級(jí)和平鋪
高性能分析軟件和測量軟件
場發(fā)射掃描電鏡規(guī)格參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)
電子槍類型：肖特基FE-Tip
分辨率：1nm@30KV SE探測器，2nm@BSE探測器
放大倍率：10x~1,00,000x
圖像：二次電子圖像SEI, 可選背向散射電子圖像BEI， TSEM圖像
光束掃描模式：查找，檢測，圖像
加速電壓：~30kv
冷凝器鏡頭：電磁2級(jí)
物鏡鏡頭：65度椎鏡頭
圖像移動(dòng)：330x325um (XY), 360度旋轉(zhuǎn)
探測器： ET型SE探測器，或CCD相機(jī)
自動(dòng)功能：自動(dòng)電子槍準(zhǔn)直，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)對(duì)比度亮度，發(fā)射電流等
顯示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（檢查模式）， 圖片模式（2048x1536~8192x6144）
圖像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移臺(tái)參數(shù)
XYZ位移范圍：50,70,65mm
tilt傾斜：~60度
旋轉(zhuǎn)：360度
類型：電動(dòng)5軸位移臺(tái)
選配真空系統(tǒng)
高真空模式：10^-9 Torr
可選配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等