SuperViewW1表面粗糙度光學(xué)測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進行驗收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。支持自動聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

粗糙度的特征表面測量

如圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點，而圓環(huán)外呈高反射率特點，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。

根據(jù)測量精度要求，可將SuperViewW1表面粗糙度光學(xué)測量儀的重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調(diào)節(jié)。

數(shù)秒內(nèi)，SuperViewW1可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分。