超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的核心是傳輸模塊和負(fù)載鎖定室。額外的沉積、分析和專門的轉(zhuǎn)移模塊很容易添加到系統(tǒng)中。由于系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(每個模塊都安裝在帶輪子的獨(dú)立支架上),這是一個快速而簡單的過程。
超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的設(shè)計既節(jié)省了空間,又提供了的可接近性:所有真空室均為獨(dú)立式,便于接近所有法蘭和部件。
轉(zhuǎn)移室和傳輸模塊
轉(zhuǎn)移和處理室是集群超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的核心,高度靈活,可適應(yīng)不同的工藝模塊。它安裝在一個堅固的鋼架上,并具有用于六個或八個附加腔室的對接法蘭。它還包括系統(tǒng)的烘烤加熱器組件,包括一個帶循環(huán)風(fēng)扇的12 kW加熱器。其他功能包括:
六/八個端口(一個由負(fù)載鎖占據(jù)),帶有CF63(4½”)或CF150(8”)法蘭
鈦升華/離子吸氣劑組合泵在低壓下的高抽運(yùn)速度
低10−10毫巴標(biāo)度基準(zhǔn)壓力
精確的重型機(jī)械手/轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu),能夠處理直徑為6”、重量為1 kg、三個自由度(伸展、旋轉(zhuǎn)、高度)的負(fù)載
轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可以轉(zhuǎn)移襯底/樣品,也可以轉(zhuǎn)移激光MBE室的PLD靶盒
樣品和目標(biāo)轉(zhuǎn)盤的可選內(nèi)部存儲系統(tǒng)
帶頂置顯示屏的攝像系統(tǒng),方便監(jiān)控傳輸
傳輸系統(tǒng)可以進(jìn)行修改,以適應(yīng)各個附加分析或處理系統(tǒng)的要求。


































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