TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan 系統(tǒng)是一種高生產率的雙級浸沒式光刻工具,專為 45 納米及以下分辨率的 300 毫米晶圓批量生產而設計。
XT:1900Gi采用蔡司星石1900i浸沒鏡頭。這是現(xiàn)有的大型ArF鏡頭,在1.35NA時,它推動了水基ArF浸入式平版印刷達到極限。結合ASML的Ultra-k1產品組合,它提供了行業(yè)的可用k1值,它可以實現(xiàn)40nm及以下的半間距分辨率。
XT:1900Gi采用新的測量和曝光周期,它為浸入式光刻設定了一個新的基準,每小時生產131個晶片。




































莒南县|
贺州市|
安图县|
满洲里市|
铜川市|
石楼县|
湖州市|
兴国县|
巨野县|
临西县|
金门县|
柏乡县|
蒙山县|
巴南区|
阜南县|
沐川县|
贺兰县|
六枝特区|
松江区|
渭源县|
赤壁市|
永修县|
平阳县|
夏邑县|
磐石市|
敖汉旗|
聂荣县|
濮阳市|
荣昌县|
保山市|
邵阳市|
高淳县|
六枝特区|
松滋市|
长春市|
道真|
临夏县|
汤阴县|
浑源县|
揭东县|
焉耆|