ASML i-line光刻機PAS 5500/450F是i-line步進器系列的、的產品之一。這種大規(guī)模生產工具是用于非關鍵應用的 PAS 5500/400 的繼任者。該工具已擴展到i 線至 220nm。PAS 5500/450F 將可變 0.48-0.65-NA Carl Zeiss Starlith 4X 縮小鏡頭的成像能力與高速掃描臺相結合,提供具有擁有價值的高生產率工具,以實現(xiàn)產量。該系統(tǒng)可配置以滿足生產要求,并在大批量生產環(huán)境中提供易于制造和成本效益。PAS 5500/450F 繼續(xù)提高 200 毫米平版印刷市場的成像性能和生產力標準。



































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