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ASML二手翻新i-line光刻機(jī)PAS5500/150

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
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  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18135
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ASML推出了一種用于0.35微米成像的新型i-line光刻系統(tǒng),旨在幫助客戶從0.5微米以上的制造技術(shù)過渡到更嚴(yán)格的分辨率
ASML二手翻新i-line光刻機(jī)PAS5500/150 產(chǎn)品詳情

ASML推出了一種用于0.35微米成像的新型i-line光刻系統(tǒng),旨在幫助客戶從0.5微米以上的制造技術(shù)過渡到更嚴(yán)格的分辨率。

PAS 5500/150是流行的PAS 5500/100 i-line系統(tǒng)的后續(xù)產(chǎn)品,針對大批量半導(dǎo)體生產(chǎn)進(jìn)行了優(yōu)化。隨著這一產(chǎn)品組合的增加,ASML擁有了三種產(chǎn)品來滿足0.5微米到0.25微米的成像要求:PAS 5500/150、PAS 5500/250 i-line工具和PAS 5500/300深紫外線系統(tǒng)。

PAS 5500/150配備空中照明器,使用戶能夠使用傳統(tǒng)照明優(yōu)化工藝范圍。對于150毫米晶圓,該系統(tǒng)每小時(shí)可生產(chǎn)超過110片晶圓,對于200毫米晶圓,每小時(shí)可生產(chǎn)超過80片晶圓-生產(chǎn)率規(guī)格比之前的PAS 5500/100系統(tǒng)高10%。該工具將提供生產(chǎn)力增強(qiáng)包(PEP),以進(jìn)一步將150毫米晶圓的產(chǎn)量提高到每小時(shí)120多片,200毫米晶圓的產(chǎn)量提高到每小時(shí)90片以上。PAS 5500/150與其他ASML產(chǎn)品的設(shè)計(jì)相似性為實(shí)施混合搭配光刻策略提供了機(jī)會(huì),從而降低每個(gè)好的芯片的制造成本。模塊化系統(tǒng)架構(gòu)還允許輕松升級到分辨率低于0.35微米的ASML成像系統(tǒng),從而延長工具的使用壽命。

ASML二手翻新i-line光刻機(jī)PAS5500/150

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