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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開(kāi)發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理，形成完整的專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶(hù)提供更為*的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類(lèi)，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線(xiàn)檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線(xiàn)分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

FPA-3030i5+步進(jìn)器旨在滿(mǎn)足并超越物聯(lián)網(wǎng)和MEMS制造商的要求

佳能i-line步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030i5+ 產(chǎn)品詳情

FPA-3030i5+步進(jìn)器旨在滿(mǎn)足并超越物聯(lián)網(wǎng)和MEMS制造商的要求。

FPA-3030i5+步進(jìn)器為IoT和MEMS制造商處理各種基板和材料提供了靈活性。FPA-3030i5+步進(jìn)器能夠提供350nm的成像分辨率，同時(shí)保持小于或等于40nm的疊加精度和等于或超過(guò)每小時(shí)104個(gè)晶圓的吞吐量。

佳能二手i-line步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-3030i5+

*IoT：“物聯(lián)網(wǎng)”或IOT是由傳感器、執(zhí)行器、數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)處理硬件和軟件組成的復(fù)雜系統(tǒng)，無(wú)需人工交互即可收集、傳輸、評(píng)估和處理數(shù)據(jù)。

**MEMS：“微機(jī)電系統(tǒng)”或MEMS是具有集成傳感器、執(zhí)行器和電子電路的微米級(jí)機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)備。

FPA-3030i5+步進(jìn)器配備高分辨率i線(xiàn)投影鏡頭

FPA-3030i5+i-line步進(jìn)器配備1:5縮小放大率投影鏡頭，可在22mmx22mm視場(chǎng)內(nèi)提供NA0.63成像。350nm或更小的FPA-3030i5+分辨率將滿(mǎn)足或超過(guò)大多數(shù)（如果不是全部）物聯(lián)網(wǎng)和MEMS應(yīng)用的量產(chǎn)成像要求。

FPA-3030i5+步進(jìn)器享有佳能長(zhǎng)期的FPA-3000平臺(tái)步進(jìn)器的高可靠性

自1994年推出FPA-3000i4以來(lái)，F(xiàn)PA-3000平臺(tái)步進(jìn)器一直受到客戶(hù)的歡迎，并且在可靠性方面有著良好的記錄。FPA-3030i5+步進(jìn)器以FPA-3000的成功為基礎(chǔ)，同時(shí)提供改進(jìn)，包括6軸非接觸式晶圓載物臺(tái)和改進(jìn)的聚焦系統(tǒng)，以提高產(chǎn)量。

與FPA-3000i5標(biāo)線(xiàn)和配方的兼容性允許有效使用現(xiàn)有設(shè)施和資產(chǎn)。

FPA-3030i5+晶圓進(jìn)料器和分劃板更換器系統(tǒng)與各種基板類(lèi)型兼容

FPA-3030i5+晶圓進(jìn)料器能夠支持從100毫米（4英寸）到200毫米（8英寸）的各種晶圓尺寸。還提供可選的多晶圓套件，允許步進(jìn)器在2種晶圓尺寸之間快速切換。

FPA-3030i5+分劃板更換器可配置為5英寸或6英寸分劃板處理，允許重復(fù)使用現(xiàn)有分劃板。

參數(shù)規(guī)格

Resolution: ≦ 350 nm

NA (Numerical Aperture): 0.63~0.45 (Variable)

Reduction Ratio: 1:5

Field Size: 22 mm x 22 mm

Exposure Wavelength: i-line 365 nm

Reticle Size: 5 inch / 6 inch (Selection)

Wafer Size: 100 mm (4 inch), 125 mm (5 inch), 150 mm (6 inch), 200 mm (8 inch) (Selection)

Overlay Accuracy: ≦ 40 nm

Main Body Dimensions: (W) 1,900 x (D) 2,600 x (H) 2,450 mm

Major Options: Through-Silicon Alignment Scope (TSA-Scope)
Wafer Handling Kit for Special Substrates
PC Remote Console
GEM-compliant online software
Pellicle Particle Checker

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多功能食品安全檢測(cè)儀	￥5900	濰坊市	山東優(yōu)云譜光電科技有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
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