佳能KrF光刻機FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,專為12英寸晶圓設計。

FPA-6300ESW 掃描儀配備了廣角鏡頭
通過改變投影鏡頭的放大倍率(4:1 → 3.125:1),F(xiàn)PA-6300ESW掃描儀實現(xiàn)了更寬的曝光范圍,而標線片尺寸保持在6英寸。
FPA-6300ESW是世界上一款無需拼接即可曝光全尺寸CMOS圖像傳感器的 KrF 掃描儀,因為一次可以曝光33mmx42.2 mm。
*拼接曝光:通過連接兩個或多個相鄰曝光區(qū)域來增加曝光場大小的方法。相鄰曝光區(qū)域的定位精度和對準直接影響良率。
FPA-6300ESW掃描儀源自久經(jīng)考驗的 FPA-6300ES6a平臺
FPA-6300ESW掃描儀采用為支持前端 (FEOL) 半導體制造工藝而開發(fā)的技術,能夠提供與FPA-6300ES6a掃描儀相似的利用率和可靠性。
FPA-6300ESW掃描儀還具有可擴展平臺,允許現(xiàn)場升級以提高生產(chǎn)力和疊加精度。


































固始县|
大宁县|
儋州市|
德令哈市|
淄博市|
常山县|
广水市|
始兴县|
邵阳市|
泰州市|
乡城县|
金华市|
巴马|
济源市|
清水河县|
长阳|
安达市|
文山县|
阜新市|
芜湖市|
信阳市|
当阳市|
无棣县|
琼结县|
江津市|
邵阳县|
林州市|
磴口县|
苏尼特右旗|
武鸣县|
盱眙县|
长治市|
繁峙县|
牟定县|
台山市|
城市|
景洪市|
龙岩市|
仙居县|
类乌齐县|
桐柏县|