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佳能KrF光刻機FPA-6300ESW二手翻新現(xiàn)貨

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面議
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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18884
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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佳能KrF光刻機FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,專為12英寸晶圓設計
佳能KrF光刻機FPA-6300ESW二手翻新現(xiàn)貨 產(chǎn)品詳情

佳能KrF光刻機FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,專為12英寸晶圓設計。

佳能KrF光刻機FPA-6300ESW

FPA-6300ESW 掃描儀配備了廣角鏡頭

通過改變投影鏡頭的放大倍率(4:1 → 3.125:1),F(xiàn)PA-6300ESW掃描儀實現(xiàn)了更寬的曝光范圍,而標線片尺寸保持在6英寸。

FPA-6300ESW是世界上一款無需拼接即可曝光全尺寸CMOS圖像傳感器的 KrF 掃描儀,因為一次可以曝光33mmx42.2 mm。

*拼接曝光:通過連接兩個或多個相鄰曝光區(qū)域來增加曝光場大小的方法。相鄰曝光區(qū)域的定位精度和對準直接影響良率。

FPA-6300ESW掃描儀源自久經(jīng)考驗的 FPA-6300ES6a平臺

FPA-6300ESW掃描儀采用為支持前端 (FEOL) 半導體制造工藝而開發(fā)的技術,能夠提供與FPA-6300ES6a掃描儀相似的利用率和可靠性。

FPA-6300ESW掃描儀還具有可擴展平臺,允許現(xiàn)場升級以提高生產(chǎn)力和疊加精度。

參數(shù)規(guī)格

Resolution
≦ 130 nm
NA (Numerical Aperture)
0.45~0.70 (Variable)
Reduction Ratio
1:3.125
Field Size
33 mm x 42.2 mm
Exposure Wavelength
KrF 248 nm
Reticle Size
6 inch
Wafer Size
300 mm (12 inch)
Overlay Accuracy
≦9nm
Main Body Dimensions
(W) 2,300 x (D) 5,155 x (H) 2,900 mm
Major Options
AFIS Illumination System
SMIF OHT Kit
PC Remote Console
GEM-compliant online software
Pellicle Particle Checker
關鍵詞:圖像傳感器
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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