TWINSCAN NXT:2000i 為高級邏輯和 DRAM 節(jié)點(diǎn)的大批量制造提供出色的覆蓋、聚焦控制和交叉匹配。

主要特點(diǎn)和優(yōu)勢

TWINSCAN NXT:2000i 是一種高生產(chǎn)率的雙級浸沒式光刻工具，專為在*節(jié)點(diǎn)批量生產(chǎn) 300 毫米晶圓而設(shè)計(jì)。

該系統(tǒng)配備了直列式折反射透鏡設(shè)計(jì)，數(shù)值孔徑 (NA) 為 1.35，是業(yè)內(nèi)的。

該系統(tǒng)還包括用于改進(jìn)疊加、焦點(diǎn)控制和交叉匹配的硬件創(chuàng)新。

專為與 EUV 混合搭配使用而設(shè)計(jì)，其模塊化設(shè)計(jì)允許從前幾代升級，并在未來繼續(xù)升級。

01. 生產(chǎn)力

TWINSCAN NXT:2000i 擁有高生產(chǎn)率和低缺陷率。該系統(tǒng)的生產(chǎn)力目前為每天 4,600 片晶圓，這一成就是通過提供可選應(yīng)用程序來實(shí)現(xiàn)的，這些應(yīng)用程序允許系統(tǒng)優(yōu)化掃描儀晶圓處理時(shí)間并減少特定用例的批量開銷。

該系統(tǒng)顯示出有史以來的成熟度，在短短 2 個(gè)月內(nèi)就達(dá)到了 150 小時(shí)的可靠性（上一代為 6 個(gè)月）。

02. 光學(xué)

TWINSCAN NXT:2000i 包括一個(gè) 1.35 NA 193 nm 折反射投影鏡頭，可實(shí)現(xiàn)低至 40 nm（C-quad）和 38 nm（偶極子）的生產(chǎn)分辨率，以及支持全 26 x 33 mm 視場大小、4X減少和與現(xiàn)有設(shè)計(jì)的標(biāo)線兼容性。

FlexRay Prepared Illuminator 擴(kuò)展了傳統(tǒng)和離軸照明的范圍，以實(shí)現(xiàn)用于低 k1 成像的高級瞳孔整形。

03. 成像性能

NXT:2000i 可以實(shí)現(xiàn) 2.5 nm 交叉匹配的產(chǎn)品覆蓋。新的 ORION 對準(zhǔn)傳感器提供更準(zhǔn)確的對準(zhǔn)測量和增強(qiáng)的工藝穩(wěn)健性，以獲得更好的覆蓋性能。

此外，新的紫外線水平傳感器標(biāo)記 2 (UVLS-2) 提供更準(zhǔn)確的水平測量，從而提高成像性能。

最后，對晶圓臺(tái)平面度、耐久性和夾持機(jī)制的改進(jìn)增強(qiáng)了系統(tǒng)與 EUV 的匹配。