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等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD/Plasma enhanced rotational PECVD system

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地合肥市
  • 更新時(shí)間2023-05-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)合肥市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量296
  • 人氣值7157
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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司坐落在合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號(hào),是一家專(zhuān)注于新材料、新能源、裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的*,合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專(zhuān)家顧問(wèn),其中千人一位,青年千人2位,教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,部分實(shí)驗(yàn)室對(duì)外開(kāi)放。涉及領(lǐng)域包括,石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥?、OLED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。另外公司擁有智能高低溫CVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐,各種高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動(dòng)自動(dòng)壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、各種功能的球磨機(jī)、金屬陶瓷切磨拋設(shè)備、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等設(shè)備。

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主要特點(diǎn)Mainfeatures:  Thewholeexperimentalcavityisintheglowgenerationregion
等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD/Plasma enhanced rotational PECVD system 產(chǎn)品詳情

       主要特點(diǎn)Main features:

  The whole experimental cavity is in the glow generation region, uniform equivalent glow, this technology is a good solution to the traditional plasma work instability, In this way, the range and intensity of ionization is 100 times of that of the traditional PECVD, to the uneven accumulation of materials .

  我司研制的回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象

  Use a quartz tube of a special shape (thin middle between two ends) as a reaction chamber for chemical vapor deposition.The furnace tube can rotate 360 degrees, Quartz stopper on the inner wall of the tube can help stir-fry the powder material and sintered more evenly, and the furnace body can be tilted to the left and right at a large angle, which is convenient to feed in and out, and the inclined angle is adjustable from 0 to 35 degree.

  該款設(shè)備選用特殊形狀(兩頭細(xì)中間粗)的石英管作為化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)室;加熱的同時(shí)爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結(jié)得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0~35°可調(diào)。

  Widely used in the preparation of graphene at low temperature and the carbon coating experiment of powder material.

  此款設(shè)備現(xiàn)廣泛應(yīng)用于低溫石墨烯制備實(shí)驗(yàn)、粉體材料碳包覆實(shí)驗(yàn)。

  

  技術(shù)參數(shù)Technical Parameters

 

Furnace加熱爐

Max. Tem溫度

1200℃

Heating zone length加熱區(qū)長(zhǎng)度

440mm

Constant zone length恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm



Temperature Controller

控溫方式

lPID automatic control and auto-tune function.

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)

l30 programmable segments for precise thermal processing.

智能化30段可編程控制

lBuilt-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 

超溫和斷偶報(bào)警功能

lOperation interface is 7 "industrial control computer

操作界面為7”工控電腦

Heating Elements

加熱元件

·Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金)

Temperature Accuracy

控溫精度

+/- 1℃

Processing tube

爐管

Size:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

Furnace tube rotation rate:3~13r/min

爐管轉(zhuǎn)速:3~13r/min

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

PE source PE源

Signal frequency信號(hào)頻率

13.56 MHz±0.005%

Power output range功率輸出范圍

0-500W

RF output interface射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

Power stability功率穩(wěn)定性

≤5W

Gas supply system氣路系統(tǒng)

High precision mass Flowmeter(Range optional)

高精度質(zhì)量流量計(jì)(量程可選)

Accuracy準(zhǔn)確度

±1.5%

Response accuracy響應(yīng)精度

 

·±0.2%

Response time響應(yīng)時(shí)間

 

Gas characteristics:1~4sec

氣特性

Electrical characteristics:10sec

電特性

Working pressure difference range工作壓差范圍

 

0.1~0.5MPa

Max. pressure壓力

 

·3MPa

Connection 連接頭類(lèi)型

 

Φ6mmDouble clasp stainless steel joint

Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭

 

Vacuum unit真空系統(tǒng)

KF25 series bellows and manual stopper valves

采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥

Vacuum up to10-1Pa

真空度可達(dá)10-1Pa

The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester  

數(shù)顯真空測(cè)試儀可直觀的顯示數(shù)值

關(guān)鍵詞:質(zhì)量流量計(jì)
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