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H-CVD-1200R CVD高真空快速退火爐

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  • 型號(hào)H-CVD-1200R
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2023-07-25
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量43
  • 人氣值797
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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司致力于與發(fā)展成為中國(guó)新材料制備領(lǐng)域的技術(shù)企業(yè)是由具備10多年研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)于2014年3月25日注冊(cè)成立,注冊(cè)資金1000萬(wàn)元。專業(yè)從事超高溫真空爐、 實(shí)驗(yàn)電爐、硬度計(jì)等材料制備檢測(cè)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售;以*的設(shè)計(jì)思路、的制作工藝和*的科研實(shí)力為航天、 研究所、大學(xué)、企業(yè)從新材料研發(fā)到規(guī)模生產(chǎn)提供整體解決方案。2016年上海翰軍通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證 上海翰軍現(xiàn)有職工15人,專業(yè)技術(shù)人員5人,高級(jí)顧問(wèn)4人(與科研單位合作)。他們?cè)诓牧?、機(jī)械電子、自動(dòng)化等方面有著高水平的專業(yè)知識(shí)和豐富的經(jīng)驗(yàn),為我司優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品提供了有力的技術(shù)保障。 上海翰軍坐落在美麗的經(jīng)濟(jì)之都上海市嘉定區(qū),占地面積1000余平方米,毗鄰G15高速公路和F1場(chǎng),東臨吳淞碼頭,南向虹橋機(jī)場(chǎng)、上?;疖囌荆煌ㄊ直憷?,周邊配套環(huán)境*,地理位置*。 上海翰軍憑借*的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和科研力量,堅(jiān)持走科技創(chuàng)新路線,秉持、 高品質(zhì),快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn),以客戶滿意為目標(biāo),為廣大客戶奉上我們高質(zhì)量的產(chǎn)品和高水平的服務(wù), 我司研發(fā)生產(chǎn)的超高溫真空爐有: 2000℃真空熱壓爐、2400℃真空碳管爐,1600℃真空鉬絲爐,1800℃真空鎢絲爐等;并可根據(jù)喜戶需求定制各種非標(biāo)設(shè)備,以滿足航天,研究所和工廠企業(yè)的需求。 我司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)電爐根據(jù)其功能有:高溫箱式爐、真空管式爐、真空氣氛箱式、快速退火爐、CVD系列、低濕低氧燒結(jié)系統(tǒng)、熔鹽電化學(xué)裝置等各種行業(yè)特種用爐,產(chǎn)品型號(hào)達(dá)上百種。 上海翰軍本著精誠(chéng)合作的原則,客戶的理念,真誠(chéng)的歡迎各界朋友到公司參觀交流。
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一、概述:這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成
CVD高真空快速退火爐 產(chǎn)品詳情

一、概述:

     這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。真空系統(tǒng)采用中科科儀FJ-110機(jī)組。控制電路選用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。本套系統(tǒng)用于CVD退火,也可以應(yīng)用于于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

 

二、主要技術(shù)參數(shù)

快速紅外加熱爐

電壓

AC3800V    50/60Hz

功率

24KW

加熱區(qū)長(zhǎng)

400mm

使用溫度

1100℃

工作溫度

≤1000℃

升溫速率:

≤300℃/min

溫控系統(tǒng)

PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器,

恒溫精度

±5

石英管

Φ50/60/80100*1400mm

兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

 

電壓

185~245V/50Hz

輸出功率:

18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程

300SCCM

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.1~0.5 MPa

壓力:

3Mpa

準(zhǔn)確度:

±1.5% FS

真空系統(tǒng)

 

產(chǎn)品型號(hào):F-100/150型渦輪分子泵

廠家: 中科科儀

技術(shù)參數(shù):

抽速速率(l/s):150

進(jìn)氣口法蘭:LF100(ISO-K)

排氣口法蘭:KF25

壓縮比:N2: 108  H2:5X10102

建議啟動(dòng)壓強(qiáng):<100pa

額定轉(zhuǎn)速(rpm):42300

啟動(dòng)時(shí)間(min):≤2

冷卻方式:風(fēng)冷

冷卻溫度(℃):≤25

安裝方式:水平或者垂直

重量:8kg

2.2干泵:

產(chǎn)品型號(hào):GWSP300

廠家:沈陽(yáng)紀(jì)維,

技術(shù)參數(shù):

極限真空度 Pa 2.60

排氣速度 l/s 4.30

      m3/h 15.5

噪音值 dB(A) ≦60

漏率(排氣口和氣鎮(zhèn)閥關(guān)) Pa·m3/s 1×10-8

進(jìn)/排氣壓力 MPa 0.1 /0.13

進(jìn)/排氣口尺寸 KF25/KF16

工作環(huán)境溫度 ℃ 5~40

冷卻方式 風(fēng)冷

單相電機(jī) 功率 0.55

電壓 V      200~230V, 50Hz

轉(zhuǎn)速 rpm 1425(50Hz),

接頭形式 國(guó)標(biāo)、

轉(zhuǎn)速 rpm 1425(50Hz),

外形尺寸 : 495×305×355

凈重 單相 kg 27

其他 帶氣鎮(zhèn)閥

電阻真空計(jì):

測(cè)量范圍:(1.0x105~1.0x10-1)pa

配備規(guī)管:ZJ-52T(可選擇接口)

測(cè)量路數(shù):1路

顯示方式:LED數(shù)碼顯示或雙顯(可選)

電源:AC220V±10%50HZ

攻耗:20W

重量:≤1KG

機(jī)箱尺寸:96*96

控制路數(shù):2路(可擴(kuò)展)

控制范圍:(1.0x105~1.0x10-1)pa

控制方式:點(diǎn)控或區(qū)域控制

控制點(diǎn)負(fù)載能力:AC220V/3A無(wú)感負(fù)載

測(cè)量精度:±30%

響應(yīng)時(shí)間:〈1S

模擬輸出:(0~5)V;(4~20)mA(選配)

通訊接口:RS-232;RS-485(選配)

法蘭及支撐

 

304不銹鋼快速水冷法蘭,長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(gè)密封硅膠圈等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無(wú)紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。


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