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H-CVD-1200S 硫化物CVD系統(tǒng)(分體式)

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  • 型號(hào)H-CVD-1200S
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2023-07-25
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量43
  • 人氣值841
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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司致力于與發(fā)展成為中國新材料制備領(lǐng)域的技術(shù)企業(yè)是由具備10多年研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)于2014年3月25日注冊(cè)成立,注冊(cè)資金1000萬元。專業(yè)從事超高溫真空爐、 實(shí)驗(yàn)電爐、硬度計(jì)等材料制備檢測儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售;以*的設(shè)計(jì)思路、的制作工藝和*的科研實(shí)力為航天、 研究所、大學(xué)、企業(yè)從新材料研發(fā)到規(guī)模生產(chǎn)提供整體解決方案。2016年上海翰軍通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證 上海翰軍現(xiàn)有職工15人,專業(yè)技術(shù)人員5人,高級(jí)顧問4人(與科研單位合作)。他們?cè)诓牧稀C(jī)械電子、自動(dòng)化等方面有著高水平的專業(yè)知識(shí)和豐富的經(jīng)驗(yàn),為我司優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品提供了有力的技術(shù)保障。 上海翰軍坐落在美麗的經(jīng)濟(jì)之都上海市嘉定區(qū),占地面積1000余平方米,毗鄰G15高速公路和F1場,東臨吳淞碼頭,南向虹橋機(jī)場、上?;疖囌?,交通十分便利,周邊配套環(huán)境*,地理位置*。 上海翰軍憑借*的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和科研力量,堅(jiān)持走科技創(chuàng)新路線,秉持、 高品質(zhì),快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn),以客戶滿意為目標(biāo),為廣大客戶奉上我們高質(zhì)量的產(chǎn)品和高水平的服務(wù), 我司研發(fā)生產(chǎn)的超高溫真空爐有: 2000℃真空熱壓爐、2400℃真空碳管爐,1600℃真空鉬絲爐,1800℃真空鎢絲爐等;并可根據(jù)喜戶需求定制各種非標(biāo)設(shè)備,以滿足航天,研究所和工廠企業(yè)的需求。 我司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)電爐根據(jù)其功能有:高溫箱式爐、真空管式爐、真空氣氛箱式、快速退火爐、CVD系列、低濕低氧燒結(jié)系統(tǒng)、熔鹽電化學(xué)裝置等各種行業(yè)特種用爐,產(chǎn)品型號(hào)達(dá)上百種。 上海翰軍本著精誠合作的原則,客戶的理念,真誠的歡迎各界朋友到公司參觀交流。
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一、概述此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器,輔助固體源蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)硫化爐,溫度控制精確,操作簡便
硫化物CVD系統(tǒng)(分體式) 產(chǎn)品詳情
一、概述

此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器,輔助固體源蒸發(fā),后端為雙溫

區(qū)硫化爐,溫度控制精確,操作簡便。左端配有法蘭支撐架可將預(yù)熱器和硫化爐分開使用。

右端可配氣氛微調(diào)裝置,可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓

CVD非常實(shí)用,重復(fù)性好;真空機(jī)組裝有真空粉塵過濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。

整套系統(tǒng)可在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。

二、設(shè)備組成

HTF-1100蒸發(fā)器,HTF-1200D雙溫區(qū)管式爐,(蒸發(fā)器與高溫反應(yīng)區(qū)采用分體式),

 三、主要技術(shù)參數(shù)

蒸發(fā)器

 

型號(hào):HTF-1100

工作溫度:室溫-1000℃

溫度:1050℃

升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V

額定功率:1000W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

加熱區(qū)長度(mm):150mm 

雙溫區(qū)
硫化爐
 

型號(hào):HTF-1200D

技術(shù)參數(shù):

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

溫度(℃):1200(1 hour)

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):

高純石英管Φ50×1500mm

加熱區(qū)長度(mm):150/300mm

恒溫區(qū)長度(mm):100/120mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

配件

配真空粉塵過濾器,DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力,防腐型數(shù)顯真空計(jì),三路混氣系統(tǒng)(可選)

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