型號(hào):GR/VMS-2010
有效測(cè)量行程(X×Y) :200 mm×100 mm
Z軸調(diào)焦升降范圍:180mm
分辨率:0.001mm
X、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm
重復(fù)精度:±0.003 mm
載物臺(tái)尺寸:345mm*250mm
玻璃臺(tái)尺寸:223 mm×143mm
承載重量:25 kg
影像系統(tǒng):美國(guó)TEO高分辨率1/3”彩色CCD
物鏡:可連續(xù)變倍光學(xué)放大倍率0.7×-4.5×
影像放大倍率:20-225×,
光柵尺:光柵尺,分辨率1um
照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均為L(zhǎng)ED,亮度可調(diào)
傳動(dòng)方式:中國(guó)臺(tái)灣無(wú)牙傳動(dòng)+P級(jí)交叉導(dǎo)軌
操作方式:搖桿手柄、鼠標(biāo)拖運(yùn)、
主機(jī)外形尺寸:550mm×390mm×870 mm
機(jī)臺(tái)底座、Z軸立柱:花崗石精度00級(jí)
儀器總重:約120 kg
有效測(cè)量行程(X×Y) :200 mm×100 mm
Z軸調(diào)焦升降范圍:180mm
分辨率:0.001mm
X、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm
重復(fù)精度:±0.003 mm
載物臺(tái)尺寸:345mm*250mm
玻璃臺(tái)尺寸:223 mm×143mm
承載重量:25 kg
影像系統(tǒng):美國(guó)TEO高分辨率1/3”彩色CCD
物鏡:可連續(xù)變倍光學(xué)放大倍率0.7×-4.5×
影像放大倍率:20-225×,
光柵尺:光柵尺,分辨率1um
照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均為L(zhǎng)ED,亮度可調(diào)
傳動(dòng)方式:中國(guó)臺(tái)灣無(wú)牙傳動(dòng)+P級(jí)交叉導(dǎo)軌
操作方式:搖桿手柄、鼠標(biāo)拖運(yùn)、
主機(jī)外形尺寸:550mm×390mm×870 mm
機(jī)臺(tái)底座、Z軸立柱:花崗石精度00級(jí)
儀器總重:約120 kg


































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