拒絕高昂溢價！NS系列臺階厚度儀，為您提供更具競爭力的微觀測量方案。

長期以來，亞埃級分辨率的臺階儀市場被進口品牌占據，企業(yè)往往需要承擔高昂的設備采購與維護成本。

Nano Step系列的出現(xiàn)，打破了這一局面，為您帶來投資回報率（ROI）：

1.同級性能，更優(yōu)成本：我們采用線性可變差動電容傳感器（LVDC）技術，實現(xiàn)了0.5?（0.05nm）的垂直分辨率。

2.超低持有成本：標配氣浮隔震臺與500萬像素高清相機，無需額外昂貴的選配費用。同時，核心部件采用花崗巖基座，結構穩(wěn)定，長期維護成本低。

3.無損耗材壓力：采用耐用的金剛石測針，且測力低至0.05mg，延長了測針壽命，減少了后續(xù)耗材的持續(xù)投入。

選擇Nano Step，就是選擇將每一分預算都花在核心性能上。

參數測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

產品特性

1.出色的重復性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調

測力恒定可調，以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。

4.頂視光學導航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺， Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺

6.*的數據采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。

針對測量ITO導電薄膜的應用場景，NS系列臺階厚度儀提供如下便捷功能：

1）結合了360°旋轉臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標志位；

2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數值變化趨勢；

NS系列臺階儀廣泛應用于：大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。

NS系列抗蝕劑臺階高度儀以“精準、高效、適配、智能"為核心，匹配半導體行業(yè)抗蝕劑測量需求。如需了解產品詳細參數、申請樣品測試，或針對您的光刻工藝定制專屬檢測方案，歡迎隨時聯(lián)系中圖儀器。

（注：產品參數與功能將隨技術升級持續(xù)優(yōu)化，具體以實際溝通為準）