性能特點(diǎn)

1.亞埃級(jí)位移傳感器

臺(tái)階儀復(fù)雜納米級(jí)特征一站式測量具有亞埃級(jí)分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面，采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量；

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。

核心應(yīng)用場景

1.半導(dǎo)體與微電子：無論是晶圓表面的刻蝕深度、光刻膠層厚度，還是IC封裝中的Bump高度與TSV深度，均能精準(zhǔn)捕捉。

2.微納材料研發(fā)：針對石墨烯等二維材料的極薄厚度測量，以及微流控通道的結(jié)構(gòu)表征，提供亞埃級(jí)的分辨率支持。

3.光伏與面板：適用于太陽能電池柵線高度及平板顯示器觸控點(diǎn)的微觀輪廓測量，支持大200mm（8英寸）樣品的真空吸附固定，滿足工業(yè)級(jí)檢測需求。

【解決方案】如何實(shí)現(xiàn)光刻膠與硅片的一機(jī)測量？Nano Step 給您答案

在實(shí)際研發(fā)中，客戶常面臨這樣的痛點(diǎn)：既要測硬質(zhì)基底的臺(tái)階，又要測軟性薄膜的厚度，且擔(dān)心測針劃傷昂貴的樣品。Nano Step通過軟硬件的深度協(xié)同，提供了解決方案。

典型應(yīng)用難點(diǎn)攻克：

1.針對軟性材料（如光刻膠、聚合物）：

（1）挑：傳統(tǒng)測厚儀測力大，易產(chǎn)生劃痕，導(dǎo)致數(shù)據(jù)虛高。

（2）方案：Nano Step提供低至0.05mg的超微測力，配合2μm半徑的金剛石測針，像“羽毛”一樣掃過表面，實(shí)現(xiàn)無損測量。

2.針對大尺寸晶圓檢測：

（1）挑戰(zhàn)：樣品尺寸大，放置不穩(wěn)，掃描長度受限。

（2）方案：配置200mm真空吸附吸盤，穩(wěn)固吸附8英寸以內(nèi)晶圓。配合55mm或200mm的超長掃描行程，輕松完成整個(gè)樣品的宏觀與微觀形貌分析。

3.針對復(fù)雜形貌分析：

方案：*的分析軟件支持3D形貌掃描（選配電動(dòng)Y軸），不僅能看切面輪廓，更能生成三維表面圖，自動(dòng)計(jì)算粗糙度與波紋度，為工藝改進(jìn)提供詳實(shí)依據(jù)。

NS200臺(tái)階儀復(fù)雜納米級(jí)特征一站式測量同級(jí)性能，更優(yōu)成本：我們采用線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了0.5?（0.05nm）的垂直分辨率。

如需針對您的行業(yè)場景定制測量方案、獲取詳細(xì)參數(shù)或申請樣品測試，歡迎隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器，我們將為您提供專業(yè)技術(shù)支持與咨詢服務(wù)！

（注：產(chǎn)品參數(shù)與功能可能隨技術(shù)升級(jí)更新，具體以實(shí)際溝通為準(zhǔn)。