NS系列0.05mg低測力臺階儀LVDC傳感器與0.05mg微測力的結合，配合2μm半徑的金剛石測針，像“羽毛”一樣掃過表面，實現(xiàn)無損測量。

硬核技術指標一覽：

1.亞埃級分辨率：搭載高靈敏度LVDC電容傳感器，在保證大量程（2620μm）的同時，實現(xiàn)了高0.005nm（0.05?）的垂直分辨率，精準捕捉納米級波動。

2.恒定微測力控制：測力范圍0.05mg - 50mg連續(xù)可調(diào)。低測力確保了在測量光刻膠、生物膜等軟性材料時，不會劃傷樣品表面，保證測量的真實性。

3.高重復性：臺階高重復性達到6?（1σ）或0.1%，確保每一次測量數(shù)據(jù)都穩(wěn)定可靠。

4.高清可視化：配備500萬像素高清彩色攝像機與4um的光學分辨率，讓微小區(qū)域的定位與觀察變得清晰直觀。

既要測硬質(zhì)基底的臺階，又要測軟性薄膜的厚度，且擔心測針劃傷昂貴的樣品。NS系列臺階儀通過軟硬件的深度協(xié)同，提供了解決方案。

典型應用難點攻克：

1.針對軟性材料（如光刻膠、聚合物）：

（1）挑：傳統(tǒng)測厚儀測力大，易產(chǎn)生劃痕，導致數(shù)據(jù)虛高。

（2）方案：NS系列臺階儀提供低至0.05mg的超微測力，配合2μm半徑的金剛石測針，像“羽毛”一樣掃過表面，實現(xiàn)無損測量。

2.針對大尺寸晶圓檢測：

（1）挑戰(zhàn)：樣品尺寸大，放置不穩(wěn)，掃描長度受限。

（2）方案：配置200mm真空吸附吸盤，穩(wěn)固吸附8英寸以內(nèi)晶圓。配合55mm或200mm的超長掃描行程，輕松完成整個樣品的宏觀與微觀形貌分析。

3.針對復雜形貌分析：

方案：*的分析軟件支持3D形貌掃描（選配電動Y軸），不僅能看切面輪廓，更能生成三維表面圖，自動計算粗糙度與波紋度，為工藝改進提供詳實依據(jù)。

如需了解NS系列0.05mg低測力臺階儀產(chǎn)品詳細參數(shù)、申請樣品測試，或針對您的光刻工藝定制專屬檢測方案，歡迎隨時聯(lián)系中圖儀器。

（注：產(chǎn)品參數(shù)與功能將隨技術升級持續(xù)優(yōu)化，具體以實際溝通為準）