名稱： 酸開(kāi)封機(jī)

 型號(hào)： RKD Elite Etch

 品牌： RKD

 名稱： 酸開(kāi)封機(jī)

 用途： 對(duì)器件進(jìn)行開(kāi)帽，DECAP

規(guī)格參數(shù)：

RKD Elite Etch是一臺(tái)自動(dòng)混酸開(kāi)封機(jī)，通過(guò)整合了*的特點(diǎn)使得它可以獲得更高的產(chǎn)能。新開(kāi)封機(jī)的設(shè)計(jì)通過(guò)將硝酸、硫酸或混酸精確分配到器件上，可以更加快速和容易的打開(kāi)精細(xì)的封裝，而不會(huì)損傷樣品。

RKD Elite Etch 酸開(kāi)封機(jī)內(nèi)包含了眾多工程創(chuàng)新。整體式刻蝕頭組件是由高等級(jí)的碳化硅加工而成，可以良好的用來(lái)抵抗酸腐蝕。再加上主動(dòng)氮?dú)獗O(jiān)測(cè)和清洗系統(tǒng)，這一整體設(shè)計(jì)可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的發(fā)煙—而對(duì)于其它沒(méi)如此復(fù)雜的設(shè)計(jì)則是一種常見(jiàn)現(xiàn)象。我們這種整體碳化硅選夠縮短加熱時(shí)間。

器件壓制組件（壓桿芯頭）是由手動(dòng)激活的，設(shè)計(jì)用于大量的運(yùn)動(dòng)。壓桿芯頭正常情況是縮回的，并且僅當(dāng)安全蓋關(guān)閉后才伸出。壓桿芯頭的垂直移動(dòng)保證器件穩(wěn)定在刻蝕頭上，從而消除了無(wú)論是器件還是夾具的移動(dòng)。

在每次開(kāi)始和結(jié)束刻蝕程序后，安全蓋由手動(dòng)關(guān)閉和打開(kāi)。關(guān)閉安全蓋，開(kāi)始已經(jīng)編制好的刻蝕步驟的程序，打開(kāi)安全蓋將停止所有刻蝕步驟。所有連接到刻蝕盤的酸管路由快速對(duì)稱壓力節(jié)點(diǎn)制成，以消除麻煩的高溫密封問(wèn)題。

型系統(tǒng)配置

掌上型鍵盤

操作簡(jiǎn)單不僅僅體現(xiàn)在RKD的軟件設(shè)計(jì)上，即軟件會(huì)持續(xù)檢查和保護(hù)系統(tǒng)防止操作失誤，而且體現(xiàn)在簡(jiǎn)單而直觀的手持式鍵盤上。只需要簡(jiǎn)單的培訓(xùn)，凡是能夠使用手機(jī)的任何人員都可以操作運(yùn)行Elite Etch開(kāi)封機(jī)。

通風(fēng)櫥的空間是非常珍貴的，所以我們?cè)O(shè)計(jì)了很小的占地面積，同時(shí)增強(qiáng)了每一個(gè)可能的安全特性。單獨(dú)的熱交換器的引入可以將廢酸溫度降低到90攝氏度以下，這允許進(jìn)一步減小系統(tǒng)尺寸---我們僅僅使用一個(gè)廢酸瓶。

預(yù)見(jiàn)未來(lái) 軟件消除了廢酸瓶溢流的危險(xiǎn)，可以防止Elite Etch在廢酸瓶沒(méi)有足夠的空間來(lái)完成編輯好的刻蝕程序時(shí)停止繼續(xù)操作。

RKD Engineering公司集成了雙控制用于所有液體在瓶容器和開(kāi)封機(jī)之間進(jìn)行耦合。內(nèi)部連接是在特氟龍密封的管路內(nèi)運(yùn)行的，它可以由瓶子盒的任何一端來(lái)供給。瓶子容器裝置內(nèi)包含了液體傳感器，當(dāng)酸從任何一個(gè)瓶子中泄露后都會(huì)給操作員發(fā)出警告。Elite Etch開(kāi)封機(jī)即能夠使用500ml美標(biāo)瓶子，也可以使用日本標(biāo)準(zhǔn)的瓶子。

夾具和附件

Elite Etch能夠使用所有由B&G International (現(xiàn)在是Nisene Technology Group)提供的附件包、墊片和對(duì)準(zhǔn)板。然而，為了顯著降低成本，并且永遠(yuǎn)具有設(shè)計(jì)和切割適用于每一個(gè)和每一只器件類型的墊片和對(duì)準(zhǔn)板的能力和優(yōu)勢(shì)，我們建議使用 RKD Engineering的μMill. 這臺(tái)Mil的操作非常簡(jiǎn)單，不需要機(jī)械工人的專業(yè)知識(shí)，就能夠快速的使用防酸的AFLAS聚合物材料加工完成高質(zhì)量各種墊片。

系統(tǒng)安全

對(duì)于操作員來(lái)說(shuō)，在任何開(kāi)封機(jī)上更換酸瓶都具有一定的風(fēng)險(xiǎn)。我們已經(jīng)設(shè)計(jì)裝配了一個(gè)通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈?zhǔn)沟酶鼡Q瓶子時(shí)沒(méi)有任何麻煩。這一通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈的詳細(xì)結(jié)構(gòu)顯示如下。另外，瓶子通氣系統(tǒng)可以防止酸氣進(jìn)入瓶子盒內(nèi)。

系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

基本規(guī)格尺寸          (w x d x h)    

開(kāi)封機(jī)                7.5 x 12.5 x 12 inch  190 x 318 x 305 mm              

瓶子組件              10 x 5 x 11 inch   254 x 127 x 279 mm

重量                  大約. 35 lbs.(16 Kg)

氣體壓力              55 - 70 psi. (N2) or CDA

電源                  90 - 250 VAC

酸溫度范圍            20℃- 250℃

酸溫度設(shè)定值          1.0℃- 0.1℃

刻蝕腔(可高達(dá))        22 x 22 mm

軟件操作規(guī)格

酸的選擇 ：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸

注意: 所有混合比例都是在泵系統(tǒng)內(nèi)部動(dòng)態(tài)準(zhǔn)備的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例)：    9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1

刻蝕后沖洗選擇：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸/無(wú)沖洗

注意: 酸的沖洗溫度設(shè)定是根據(jù)刻蝕溫度自動(dòng)校準(zhǔn)的。

刻蝕時(shí)間： 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)

注意: 刻蝕時(shí)間能夠在刻蝕期間動(dòng)態(tài)調(diào)整。 

刻蝕形式 -              

(i) 脈沖刻蝕

(ii) 往復(fù)刻蝕 – 酸脈動(dòng)

刻蝕溫度范圍 

20℃- 90℃ (硝酸)

20 - 250℃(硫酸)

20 - 100℃ (混酸)

刻蝕劑流量選擇 -

1 - 6 ml.每分鐘（所有酸和混酸）

操作程序存儲(chǔ) -

100 個(gè)程序存儲(chǔ)，非易丟失存儲(chǔ)器

軟件升級(jí)

通過(guò)RS232或USB連接電腦

安全設(shè)計(jì)特點(diǎn)

EMO緊急停電源開(kāi)關(guān)

刻蝕頭安全：超溫保護(hù)傳感器電路

泄露檢查傳感器：   (i) 開(kāi)封機(jī)主體；(ii) 酸瓶盒組件

二級(jí)防護(hù)：真正的二級(jí)防護(hù)

酸煙霧降低：廢酸熱交換以最小化酸煙霧

認(rèn)證和 &行業(yè)規(guī)范

RoHS

CE

SEMI S-2

SEMI S- 2, 93

系統(tǒng)維護(hù)

Elite Etch的日常系統(tǒng)維護(hù)是非常簡(jiǎn)單并且是自執(zhí)行的。通過(guò)從手持鍵盤控制器上選擇維護(hù)程序，大多數(shù)的維護(hù)程序都可以運(yùn)行，包括 -

溫度校準(zhǔn)

光學(xué)傳感器校準(zhǔn)

閥的操作

壓鼻操作

低溫氣體供應(yīng)和排出功能

(Elite Etch從不使用高或低壓調(diào)壓閥，它僅需直接連接到氮?dú)夤苈飞稀?

保修

符合銷售的離岸儀器標(biāo)準(zhǔn)條款。所有部件在正常操作條件下，并且正確執(zhí)行了建議的預(yù)防性維護(hù)保養(yǎng)后，當(dāng)出現(xiàn)工藝或材料損壞后，免費(fèi)保修12個(gè)月。