背景：在工業(yè)上廣泛應(yīng)用的加速度、速度、位移傳感器以及測振儀的標(biāo)定過程中, 所用到的最核心設(shè)備就是標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺。標(biāo)定系統(tǒng)的誤差來源于標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺。理想的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)臺應(yīng)該產(chǎn)生沿軸向的單自由度的正弦振動(dòng),不允許出現(xiàn)其他方向的運(yùn)動(dòng),如橫向運(yùn)動(dòng)（包括轉(zhuǎn)動(dòng)和搖晃等）。用撓性彈簧, 如金屬/玻璃鋼做振動(dòng)臺動(dòng)圈支撐彈簧在工作頻率內(nèi)存在各種共振模態(tài), 而引起動(dòng)圈產(chǎn)生橫向、扭轉(zhuǎn)或搖擺等不必要的振動(dòng)。假設(shè)標(biāo)定一只具有5%橫向靈敏度的加速度傳感器，在某一個(gè)標(biāo)定頻率下所使用的的標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺橫向振動(dòng)是99%，那么項(xiàng)誤差就會給整個(gè)系統(tǒng)帶入1×0.05=5%的誤差。此外，波形失真和電磁干擾等因素都會影響振動(dòng)傳感器的標(biāo)定精度。

相比于傳統(tǒng)撓性簧片結(jié)構(gòu)的電動(dòng)振動(dòng)臺，空氣軸承標(biāo)準(zhǔn)臺，因?yàn)椴捎每諝廨S承作為導(dǎo)向裝置，具有更小的橫向擾動(dòng)和失真度，從而能在寬頻范圍內(nèi)提供單自由度的正弦振動(dòng)，減少了橫向擾動(dòng)和失真度誤差的引入，極大地提高了傳感器標(biāo)定的精度。

VE-4210

杭州億恒科技是目前國內(nèi)，采用空氣軸承技術(shù)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)中頻臺的企業(yè)。例如所研發(fā)的新產(chǎn)品VE-4210 100N標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，橫向振動(dòng)比和諧波失真都很小，能產(chǎn)生10kgf的額定正弦峰值推力，工作頻率范圍是5-10,000Hz。它的作用是把輸入的電能轉(zhuǎn)變成輸出的機(jī)械能，所以它實(shí)際上是一臺寬頻帶的力變換器。

VE-4210 100N標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，具有的產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

1.采用了高精密空氣軸承作為導(dǎo)向裝置，導(dǎo)向精度高、橫向 失真小、無污染。與傳統(tǒng)的機(jī)械支撐導(dǎo)向結(jié)構(gòu)相比，空氣軸承導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有的優(yōu)勢，能極大的降低橫向失真度；在保證中頻振動(dòng)臺空氣氣源與工作場合清潔的前提下，空氣軸承的使用壽命遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)的機(jī)械支撐導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，維護(hù)成本低。

2.采用永磁磁路結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的勵(lì)磁磁路結(jié)構(gòu)，永磁鐵剩磁高、溫度系數(shù)低、穩(wěn)定性好，與傳統(tǒng)勵(lì)磁磁路相比，磁場的穩(wěn)定性更高、無需進(jìn)行強(qiáng)制風(fēng)冷、工作噪音，由于無需進(jìn)行強(qiáng)制散熱，系統(tǒng)的總功率也相應(yīng)降低。

依據(jù)JJG298-2015《標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺計(jì)量檢定規(guī)程》和ISO16063-21-2003《振動(dòng)與沖擊傳感器校準(zhǔn)方法第21部分：振動(dòng)比較法校準(zhǔn)》，要求標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺的橫向振動(dòng)比≤10%（f≤1kHz），≤30%（f＞1kHz）；諧波失真度≤5%（f＞20Hz），≤10%（f≤20Hz）。VE-4210 100N標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺橫向振動(dòng)比，如下圖所示：

圖一 VE-4210 100N標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺橫向振動(dòng)比

VE-4210 100N標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺采用空氣軸承技術(shù)，極大地降低了橫向振動(dòng)比和諧波失真度，經(jīng)航空工業(yè)北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所計(jì)量檢定，5-10,000Hz全頻段符合ISO規(guī)定指標(biāo)。