SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)，長(zhǎng)行程，高精度，壓電納米定位

英國(guó)Prior·queenstage 推出的壓電納米定位平臺(tái)：SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)，該納米壓電位移平臺(tái)具有非常低的運(yùn)動(dòng)誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實(shí)現(xiàn)超高速性能和低納米級(jí)重復(fù)性。此壓電納米定位臺(tái)樣品架和載物臺(tái)可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測(cè)試和半導(dǎo)體檢測(cè)的廣泛應(yīng)用。閉環(huán)行程500um。SP-Mini-500壓電納米定位臺(tái)，占地面積小，是理想的易于集成在儀器或測(cè)試設(shè)備中的緊湊型納米壓電定位臺(tái)。該Prior·queenstage的納米壓電位移平臺(tái)具有非常低的運(yùn)動(dòng)誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實(shí)現(xiàn)超高速性能和低納米級(jí)重復(fù)性。

SP-Mini-500壓電納米定位臺(tái)主要應(yīng)用：

       -高精度顯微鏡：共聚焦和光片等

       -硬盤檢測(cè)

       -半導(dǎo)體檢測(cè)和制造

       -配合科學(xué)和醫(yī)療研究設(shè)備使用

-鏡片定位

-納米壓電位移和納米樣品定位等

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)的平臺(tái)在整個(gè)500微米的行程范圍內(nèi)保持非常穩(wěn)定的狀態(tài)。這使得樣品架可以偏移放置。此電動(dòng)Z軸在保持高性能定位的同時(shí)提高了對(duì)檢測(cè)設(shè)備對(duì)于樣品的定位能力。此Prior?queenstage的壓電納米定位臺(tái)的樣品架和載物臺(tái)可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測(cè)試和半導(dǎo)體檢測(cè)的廣泛應(yīng)用。

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)

緊湊型納米壓電定位臺(tái)SP-Mini-500的主要特點(diǎn)：

-＞500 um行程，納米級(jí)分辨率

-非常低的旋轉(zhuǎn)誤差：0.0025°

-電容式定位傳感器，提供較高位置精確度和準(zhǔn)確度。2 nm分辨率和5 nm重復(fù)度

-線性誤差一般為＜0.002%

-動(dòng)態(tài)性能：空載諧振頻率一般為210 Hz，同服環(huán)路帶寬可達(dá)55 HZ

-原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

-即插即用：載物臺(tái)連接器包含載物臺(tái)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和參考傳感器，便于控制器互換

-壓電納米定位

壓電納米定位臺(tái)SP-Mini-500的技術(shù)規(guī)格    

Prior電動(dòng)Z軸SP-Mini-500壓電納米位移臺(tái)的可選配件：

-35 mm培養(yǎng)皿插件

-單波片夾具

納米壓電位移臺(tái)SP-Mini-500需要配合英國(guó)Prior·queenstage專門為壓電納米定位設(shè)備研發(fā)的NPC-D-6110控制器。其*的數(shù)字控制器可以的速度驅(qū)動(dòng)納米壓電位移臺(tái)SP-Mini-500。