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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

這款配有自動(dòng)輸送機(jī)的低成本立式爐管可用于從研發(fā)到批量生產(chǎn) 4 至 8 英寸晶圓的一系列功能。提供超高溫處理，非常適合功率器件制造。

VF-3000 自動(dòng)立式爐管產(chǎn)品詳情

概述

該立式爐管可用于 4 英寸到 8 英寸的各種晶圓大小，并可選擇小批量處理 50 至 75 片一體式。該立式爐管通過精心選擇硬件和控制系統(tǒng)組件來實(shí)現(xiàn)低價(jià)，可用于從研發(fā)到批量生產(chǎn)線等眾多功能。從 LGO 加熱器、二硅化鉬 (MoSi₂) 加熱器和碳加熱器中選擇使用一款合適的加熱器，不僅可用于低溫退火、氮化物 (Si₃N₄)、多晶硅和其他材料 LPCVD、氧化和擴(kuò)散處理，還可用于 SiC 功率器件柵硅氧氮化、活化退火和其他超高溫處理工藝。

特性

● 面向后端用戶的低成本設(shè)備

● 小批量、50 至 75 片一體式處理可用于研發(fā)及批量生產(chǎn)線

● 提供 4 至 8 英寸晶圓尺寸

● 最多 4 個(gè)晶盒儲(chǔ)料器

● 使用 LGO 加熱器，從低溫到中高溫都能實(shí)現(xiàn)出色的溫度控制

● 使用單片式機(jī)械手臂實(shí)現(xiàn)晶圓高速傳送

● 配備功能有限的簡(jiǎn)單控制系統(tǒng)

規(guī)格

外部尺寸：W1200 × D1450 × H2610 mm

加熱器：LGO加熱器

均熱區(qū)長(zhǎng)度：至 360 mm

晶圓大?。?/font>4 至 8 英寸

可放置晶圓的數(shù)量： 75 片一體式（8 英寸為 50 片一體式）

I/O端口：4

晶盒儲(chǔ)料器數(shù)量：4

手指：?jiǎn)纹?/font>

選配：

強(qiáng)制冷卻系統(tǒng)
N₂置換室
可轉(zhuǎn)換晶圓大小

規(guī)格

外部尺寸：W1200 × D1450 × H2610 mm

加熱器：LGO加熱器

均熱區(qū)長(zhǎng)度：至 360 mm

晶圓大小：4 至 8 英寸

可放置晶圓的數(shù)量： 75 片一體式（8 英寸為 50 片一體式）

I/O端口：4

晶盒儲(chǔ)料器數(shù)量：4

手指：?jiǎn)纹?/font>

選配：

強(qiáng)制冷卻系統(tǒng)
N₂置換室
可轉(zhuǎn)換晶圓大小

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 加熱器機(jī)械手

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
聲波過球指示器	￥400000	北京市	北京杜克泰克科技有限公司	2026-09-30	在線詢價(jià)
BRDF/BTDF測(cè)試儀	面議	上海市	上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2026-09-30	在線詢價(jià)
電腦振動(dòng)噪聲測(cè)量?jī)x庫號(hào)：M195225	￥8980	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2026-09-30	在線詢價(jià)
不銹鋼懸浮床	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-30	在線詢價(jià)
UZY600 系列音叉物位控制器	面議		北京瑞普三元儀表有限公司	2026-09-28	在線詢價(jià)
雨量氣象監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	濰坊市	山東雷穹電子科技有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)

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