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KT-PE500ZX PECVD射頻模塊

參考價(jià)
¥19800.00
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
規(guī)格
  • 臺(tái)19800.00元66 臺(tái)可售
  • 型號(hào)KT-PE500ZX
  • 品牌其他品牌
  • 所在地鄭州市
  • 更新時(shí)間2024-08-30
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)鄭州市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量198
  • 人氣值4881
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公司是集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售為一體的新材料制備設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)眾多實(shí)驗(yàn)室,科探儀器已經(jīng)成為老師和同學(xué)信賴的品牌。公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會(huì)為宗旨,積極設(shè)計(jì)開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育實(shí)驗(yàn)和科學(xué)研究。經(jīng)過長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷的技術(shù)積累,擁有材料制備、材料測(cè)試、材料運(yùn)用等,相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng),為化學(xué)、物理、材料、電子等方面;新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)工作者們提供了精良的設(shè)備。公司通過和院校老師、同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了高效的信息技術(shù)交流平臺(tái),為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持!

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)科研儀器十多個(gè)系列,上百款產(chǎn)品,包括實(shí)驗(yàn)電爐、高真空機(jī)組、智能供氣儀、二維材料制備CVD設(shè)備、等離子清洗機(jī)、小型磁控濺射儀、小型蒸鍍儀、石英管真空封口機(jī)、真空探針臺(tái)、燃料電池評(píng)價(jià)裝置等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源領(lǐng)域,物理特性及化學(xué)特性的研究,廣泛應(yīng)用于各大院校及材料研究所。

公司與國(guó)內(nèi)高校、科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實(shí)驗(yàn)室相關(guān)領(lǐng)域的教授、工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)、我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠長(zhǎng)期實(shí)踐的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)难邪l(fā)能力、科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝、精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心,期待與您的合作!

 

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PECVD射頻模塊:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)。
PECVD射頻模塊 產(chǎn)品詳情

PECVD射頻模塊:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

 

PECVD射頻模塊技術(shù)資料 

型號(hào)

KT--PE150S

KT-PE500Z

信號(hào)頻率

13.56MH? ±0.005%

功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩(wěn)定度

≤5W

反射功率

40W

射頻輸出接口

7/16 female 50 Ω

功率穩(wěn)定度

≤5W

匹配方式

手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配

500W自動(dòng)匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

≤30Pa

供電電壓

AC220V±10%   50/60H?

整機(jī)效率

≥70%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

支持爐管直徑

Φ25mm--φ80mm

Φ25mm--150mmφ

感應(yīng)區(qū)

210mm

整機(jī)重量

48KG

整機(jī)尺寸:H×W×D(mm)

600×600×1100

 


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