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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京歐唐科技發(fā)展有限公司（歐唐科技），成立于2007年，致力于光學(xué)精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域，歐唐科技有著幾十年的光學(xué)領(lǐng)域研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，與業(yè)內(nèi)經(jīng)驗(yàn)豐富的專家保持良好的合作關(guān)系，可以為相關(guān)領(lǐng)域提供技術(shù)咨詢服務(wù)我們不僅代理儀器設(shè)備與軟件，同時(shí)也應(yīng)客戶的需求，研發(fā)定制的儀器與裝置。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

scia Mill 200適用于在多種材料的復(fù)雜多層膜上進(jìn)行微結(jié)構(gòu)刻蝕，樣品尺寸可達(dá)直徑200mm。該系統(tǒng)對(duì)活性氣體相容，能夠進(jìn)行反應(yīng)蝕刻工藝以提高刻蝕選擇比和刻蝕速率。scia Mill 200采用靈活的模塊化設(shè)計(jì)，可以有單樣品的適合研發(fā)的版本，也可以進(jìn)行組合式布局最多至3個(gè)工作倉(cāng)和2個(gè)晶圓載具load-lock，以適合批量生產(chǎn)。

scia Mill 200 產(chǎn)品詳情

常規(guī)屬性

- 采用圓形離子源對(duì)全部樣品區(qū)域在惰性或反應(yīng)氣體環(huán)境下進(jìn)行刻蝕

- 可進(jìn)行離子束刻蝕（IBE、IBM）、反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE）和化學(xué)輔助離子束刻蝕（CAIBE）

- 刻蝕角度調(diào)整：樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)且傾斜可調(diào)

- 離子束具有準(zhǔn)直性，垂直入射刻蝕時(shí)，無(wú)需修正擋板亦可獲得的均勻性

- 通過(guò)反應(yīng)氣體可以提高刻蝕速率，并控制刻蝕選擇性

- 通過(guò)基于SIMS（二次離子質(zhì)譜）或光學(xué)的截止點(diǎn)探測(cè)技術(shù)控制工藝

- 可以刻蝕光刻膠晶圓，具有良好的樣品冷卻配置

- 在不同的組合式布局中可以進(jìn)行全自動(dòng)載具操作。

- 可以適合各種傾斜光柵的刻蝕研發(fā)與生產(chǎn)

系統(tǒng)性能

scia Mill 200
樣品尺寸	ф200mm
樣品夾具	水冷，氦背板冷卻轉(zhuǎn)速：5 - 20 rpm 傾斜：0° - 175° 步長(zhǎng)：0.1°
離子源	ф350mm圓形射頻源RF350-e
中和器	RF等離子體橋中和器N-RF
參考刻蝕速率	Pt: 35 nm/min Cu: 44 nm/min W: 17 nm/min SiO₂: 20nm/min
刻蝕均勻性	≦ 1% (σ/mean)
產(chǎn)能	12 Wafer/h (100 nm SiO2 on 200 mm wafer)
基礎(chǔ)真空度	5 x 10^-7 mbar
尺寸（不含電柜與真空泵）	3.2 m x 2.5 m x 2.5 m （3個(gè)工作倉(cāng) + 晶圓載具）
軟件界面	SECS II / GEM, OPC
標(biāo)準(zhǔn)配置	1 個(gè)工作倉(cāng)

配置選項(xiàng)

- 單片 Load-Lock（可選）， OES 或SIMS截止點(diǎn)探測(cè)器（可選）

-單片 Load-Lock（可選）；

-組合式布局可至3個(gè)工作倉(cāng)和晶圓載具；

-OES 或SIMS截止點(diǎn)探測(cè)器（可選）

關(guān)鍵詞：二次離子質(zhì)譜真空泵標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
雨量氣象監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	濰坊市	山東雷穹電子科技有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)
高壓電纜接地環(huán)流在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	常州市	常州鼎諾智能電氣有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)
螺紋工件一鍵批量閃測(cè)儀	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)
微壓控制器 D500/11D	￥1450	溫州市	上海雙旭電子有限公司	2026-09-23	在線詢價(jià)
全自動(dòng)SDI+MFI分析儀	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-22	在線詢價(jià)
多參數(shù)水質(zhì)分析儀	面議	重慶市	重慶青天特克科技有限公司	2026-09-22	在線詢價(jià)

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